მაგნეტრონული გაფრქვევის საფარის მახასიათებლები
(3) დაბალი ენერგიის გაფრქვევა. სამიზნეზე მიწოდებული დაბალი კათოდური ძაბვის გამო, პლაზმა იკვრება კათოდთან ახლოს არსებულ მაგნიტურ ველში, რითაც აფერხებს მაღალი ენერგიის დამუხტული ნაწილაკების მოძრაობას სუბსტრატის იმ მხარეს, რომელსაც ადამიანი ესვრის. ამიტომ, დამუხტული ნაწილაკებით დაბომბვით გამოწვეული სუბსტრატის დაზიანების ხარისხი, როგორიცაა ნახევარგამტარული მოწყობილობები, უფრო დაბალია, ვიდრე გაფრქვევის სხვა მეთოდებით გამოწვეული.
(4) დაბალი სუბსტრატის ტემპერატურა. მაგნეტრონული გაფრქვევის გაფრქვევის სიჩქარე მაღალია, რადგან კათოდური სამიზნის მაგნიტურ ველში რეგიონის შიგნით, ანუ სამიზნის განმუხტვის ასაფრენი ბილიკის მცირე ლოკალიზებულ არეალში ელექტრონების კონცენტრაცია მაღალია, ხოლო რეგიონის გარეთ მაგნიტური ეფექტის დროს, განსაკუთრებით სუბსტრატის ზედაპირის მაგნიტური ველიდან მოშორებით, ელექტრონების კონცენტრაცია დისპერსიის გამო გაცილებით დაბალია და შესაძლოა დიპოლური გაფრქვევისას უფრო დაბალიც კი იყოს (ორ სამუშაო აირის წნევას შორის სხვაობის გამო, რომელიც სიდიდის რიგისაა). ამიტომ, მაგნეტრონული გაფრქვევის პირობებში, სუბსტრატის ზედაპირზე მოხვედრილი ელექტრონების კონცენტრაცია გაცილებით დაბალია, ვიდრე ჩვეულებრივი დიოდური გაფრქვევის დროს და სუბსტრატის ტემპერატურის ზედმეტი მატება თავიდან აცილებულია სუბსტრატზე დაცემული ელექტრონების რაოდენობის შემცირების გამო. გარდა ამისა, მაგნეტრონული გაფრქვევის მეთოდის დროს, მაგნეტრონული გაფრქვევის მოწყობილობის ანოდი შეიძლება განთავსდეს კათოდის მიმდებარე ტერიტორიაზე, ხოლო სუბსტრატის დამჭერი ასევე შეიძლება იყოს დაუმიწებელი და სუსპენზიის პოტენციალის მქონე, ისე, რომ ელექტრონებმა არ გაიარონ დამიწებული სუბსტრატის დამჭერი და არ გაიარონ ანოდში, რითაც შემცირდება მოპირკეთებული სუბსტრატის დაბომბვის მაღალი ენერგიის ელექტრონები, მცირდება ელექტრონებით გამოწვეული სუბსტრატის სითბოს ზრდა და მნიშვნელოვნად სუსტდება სუბსტრატის მეორადი ელექტრონული დაბომბვა, რაც იწვევს სითბოს გამომუშავებას.
(5) სამიზნის არათანაბარი გრავირება. ტრადიციულ მაგნეტრონულ გაფრქვევაში სამიზნის არათანაბარი მაგნიტური ველის გამოყენება, პლაზმა წარმოქმნის ლოკალურ კონვერგენციის ეფექტს, რაც სამიზნის ლოკალურ პოზიციაზე გაფრქვევის გრავირების სიჩქარეს მაღალს გახდის, რის შედეგადაც სამიზნი წარმოქმნის მნიშვნელოვან არათანაბარ გრავირებას. სამიზნის გამოყენების მაჩვენებელი, როგორც წესი, დაახლოებით 30%-ია. სამიზნის მასალის გამოყენების მაჩვენებლის გასაუმჯობესებლად, შეგიძლიათ მიიღოთ სხვადასხვა გაუმჯობესების ზომები, როგორიცაა სამიზნის მაგნიტური ველის ფორმისა და განაწილების გაუმჯობესება, რათა მაგნიტმა სამიზნის კათოდში შიდა მოძრაობა გამოიწვიოს და ა.შ.
მაგნიტური მასალის სამიზნეების გაფრქვევის სირთულე. თუ გაფრქვევის სამიზნე დამზადებულია მაღალი მაგნიტური გამტარობის მქონე მასალისგან, მაგნიტური ძალის ხაზები პირდაპირ სამიზნის შიგნით გაივლის, რაც მაგნიტურ მოკლე ჩართვის ფენომენს გამოიწვევს, რაც მაგნეტრონის განმუხტვას გაართულებს. კოსმოსური მაგნიტური ველის გენერირების მიზნით, ადამიანებმა ჩაატარეს სხვადასხვა კვლევა, მაგალითად, სამიზნე მასალის შიგნით მაგნიტური ველის გაჯერების მიზნით, სამიზნეში მრავალი ნაპრალის დატოვებით, რათა ხელი შეეწყოთ მაგნიტური სამიზნის ტემპერატურის მატების გამო გაჟონვის გენერირებას, ან სამიზნე მასალის მაგნიტური გამტარობის შესამცირებლად.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: დეკემბერი-01-2023