1. რკალური სინათლის ელექტრონული ნაკადის მახასიათებლები
რკალური განმუხტვით გენერირებულ რკალურ პლაზმაში ელექტრონების ნაკადის, იონების ნაკადის და მაღალი ენერგიის ნეიტრალური ატომების სიმკვრივე გაცილებით მაღალია, ვიდრე ნათების განმუხტვისას. საფარის სივრცეში უფრო მეტი გაზის იონი და ლითონის იონიზებული, აგზნებული მაღალი ენერგიის ატომები და სხვადასხვა აქტიური ჯგუფია, რომლებიც მნიშვნელოვან როლს ასრულებენ საფარის პროცესის გათბობის, გაწმენდისა და დაფარვის ეტაპებში. რკალური ელექტრონების ნაკადის მოქმედების ფორმა განსხვავდება იონური სხივისგან, რომელთაგან ყველა არ იკრიბება „სხივად“, არამედ ძირითადად დივერგენტულ მდგომარეობაშია, ამიტომ მას რკალური ელექტრონების ნაკადი ეწოდება. იმის გამო, რომ რკალური ელექტრონები ანოდისკენ მიედინება, რკალური ელექტრონების ნაკადი მიმართულია იქით, სადაც რკალური კვების წყაროს დადებითი ელექტროდია შეერთებული და ანოდი შეიძლება იყოს სამუშაო ნაწილი, დამხმარე ანოდი, ტიგელი და ა.შ.
2. რკალური ელექტრონული ნაკადის გენერირების მეთოდი
(1) გაზის წყარო წარმოქმნის რკალური ელექტრონების ნაკადს: ღრუ კათოდური რკალური განმუხტვის და ცხელი მავთულის რკალური განმუხტვის რკალურმა დენმა შეიძლება მიაღწიოს დაახლოებით 200 ა-ს, ხოლო რკალური ძაბვაა 50-70 ვ.
(2) მყარი წყარო წარმოქმნის რკალურ ელექტრონების ნაკადს: კათოდური რკალის წყარო, მათ შორის მცირე რკალის წყარო, ცილინდრული რკალის წყარო, მართკუთხა სიბრტყის დიდი რკალის წყარო და ა.შ. თითოეული კათოდური რკალის წყაროს განმუხტვის რკალური დენი არის 80-200A, ხოლო რკალის ძაბვა არის 18-25V.
ორი ტიპის რკალური განმუხტვის პლაზმაში მაღალი სიმკვრივის და დაბალი ენერგიის რკალური ელექტრონების ნაკადს შეუძლია წარმოქმნას ინტენსიური შეჯახების იონიზაცია გაზისა და ლითონის ფირის ატომებთან, რაც იწვევს მეტი გაზის იონის, ლითონის იონების და სხვადასხვა მაღალი ენერგიის აქტიური ატომებისა და ჯგუფების მიღებას, რითაც აუმჯობესებს ფირის ფენის იონების საერთო აქტივობას.
– ეს სტატია გამოაქვეყნა გუანდონგ ჟენჰუამ, ა.ვაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელი
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 31 მაისი