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製品説明
真空プラズマ洗浄装置は統合構造を採用し、RFイオン洗浄システム、全自動制御、便利な操作とメンテナンスを備えています。
RF高周波発生器は、高密度プラズマを生成し、ワーク表面の活性化、エッチング、アッシングを行い、製品表面のゴミや油分を効果的に除去し、表面応力を解放し、ワーク表面にさまざまな改質を与えることができます。
ゴム、ガラス、セラミック、金属などの製品に適用でき、マイクロエレクトロニクス、LCD、LED、LCM、PCB回路基板、半導体パッケージング、医療機器、ライフサイエンス実験などの分野に適用されます。
オプションモデル
| VLY1000 | VLY0810 |
| φ1000×H1000(mm)
| φ800×H1000(mm)
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