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製品説明
真空プラズマ洗浄装置は一体構造を採用し、RFイオン洗浄システムを搭載しており、完全自動制御で、操作とメンテナンスが容易です。
RF高周波発生器は、高密度プラズマを生成し、加工対象物の表面を活性化、エッチング、灰化することで、製品表面の粉塵や油分を効果的に除去し、表面応力を解放し、加工対象物表面に様々な改質を施すことができる。
ゴム、ガラス、セラミック、金属などの製品に適用可能であり、マイクロエレクトロニクス、LCD、LED、LCM、PCB回路基板、半導体パッケージ、医療機器、生命科学実験などの分野に応用されています。
オプションモデル
| VLY1000 | VLY0810 |
| φ1000×H1000（mm）
| φ800×H1000（mm）
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