Вакуумдук плазма тазалоочу жабдуулар интеграцияланган түзүлүштү кабыл алат, RF иондук тазалоо системасы менен жабдылган, толугу менен автоматтык башкаруу, ыңгайлуу иштетүү жана техникалык тейлөө.
Жогорку жыштыктагы генератор жогорку тыгыздыктагы плазманы пайда кыла алат, жумушчу бөлүктүн бетин иштетип, оюп жана күлдөтүп, продукттун бетиндеги чаңды жана майды натыйжалуу кетирип, беттик чыңалууну кетирип, жумушчу бөлүктүн бетинде ар кандай өзгөртүүлөрдү жасай алат.
Ал резина, айнек, керамика, металл жана башка буюмдарга тиешелүү жана микроэлектроника, LCD, LED, LCM, PCB схемалык тактасы, жарым өткөргүч таңгактоо, медициналык аппараттар, жашоо илими эксперименттери жана башка тармактарда колдонулат.