本装置はマグネトロンスパッタリングとイオンコーティング技術を統合し、色の均一性、成膜速度、および化合物組成の安定性を向上させるソリューションを提供します。製品の要求に応じて、加熱システム、バイアスシステム、イオン化システムなどの装置を選択できます。本装置で製造されたコーティングは、密着性と緻密性に優れており、製品の耐塩水噴霧性、耐摩耗性、表面硬度を効果的に向上させ、高性能コーティングの製造要件を満たします。
実験用コーティング装置は主に大学や研究機関で使用され、様々な実験要件に対応できます。装置には様々な構造ターゲットが用意されており、異なる分野の科学研究開発に合わせて柔軟に構成できます。マグネトロンスパッタリングシステム、カソードアークシステム、電子ビーム蒸着システム、抵抗蒸着システム、CVD、PECVD、イオン源、バイアスシステム、加熱システム、三次元治具などを選択できます。お客様は、それぞれのニーズに合わせて選択できます。
この装置は、美しい外観、コンパクトな構造、省スペース、高度な自動化、シンプルで柔軟な操作性、安定した性能、容易なメンテナンスといった特徴を備えています。
この装置は、ステンレス鋼、電気めっきされたハードウェア/プラスチック部品、ガラス、セラミックなどの材料に適用できます。チタン、クロム、銀、銅などの単純な金属層、またはTiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrCなどの金属化合物膜を作製できます。濃い黒色、炉金、ローズゴールド、模造金、ジルコニウムゴールド、サファイアブルー、明るい銀色など、様々な色を実現できます。
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500×H600(mm) | φ600×H800(mm) | φ800×H1000(mm) |