Таҷҳизоти тозакунии плазмаи вакуумӣ сохтори муттаҳидшударо қабул мекунад, ки бо системаи тозакунии иони RF, идоракунии пурра автоматӣ, истифода ва нигоҳдории қулай муҷаҳҳаз шудааст.
Генератори басомади баланди RF метавонад плазмаи зичии баландро тавлид кунад, сатҳи қисмати корро фаъол созад, кандакорӣ кунад ва хокистар кунад, чанг ва равғанро дар сатҳи маҳсулот самаранок тоза кунад, фишори сатҳро рафъ кунад ва дар сатҳи қисмати корӣ тағйироти гуногун ба даст орад.
Он барои резина, шиша, сафол, металл ва дигар маҳсулот татбиқ мешавад ва дар микроэлектроника, LCD, LED, LCM, тахтаи схемавии PCB, бастабандии нимноқилҳо, дастгоҳҳои тиббӣ, таҷрибаҳои илми ҳаёт ва дигар соҳаҳо татбиқ карда мешавад.