Ny fitaovana fanadiovana plasma banga dia mampiasa rafitra mitambatra, misy rafitra fanadiovana ion RF, fanaraha-maso mandeha ho azy tanteraka, fampiasana sy fikojakojana mora.
Ny mpamokatra RF avo lenta dia afaka mamorona plasma avo lenta, mampandeha, manodina ary manadio ny velaran'ny workpiece, manala tsara ny vovoka sy ny menaka eo amin'ny velaran'ny vokatra, mamoaka ny fihenjanana eo amin'ny velaran'ny workpiece, ary mahazo fanovana isan-karazany eo amin'ny velaran'ny workpiece.
Azo ampiharina amin'ny fingotra, fitaratra, seramika, metaly ary vokatra hafa izy io, ary ampiharina amin'ny microelectronics, LCD, LED, LCM, PCB circuit board, fonosana semiconductor, fitaovana ara-pitsaboana, fanandramana momba ny siansa momba ny fiainana ary sehatra hafa.