อุปกรณ์ทำความสะอาดด้วยพลาสมาสุญญากาศใช้โครงสร้างแบบบูรณาการ มาพร้อมกับระบบทำความสะอาดด้วยไอออน RF ควบคุมอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์ ใช้งานและบำรุงรักษาได้สะดวก
เครื่องกำเนิดคลื่นความถี่สูง RF สามารถสร้างพลาสมาความหนาแน่นสูง กระตุ้น กัดเซาะ และเผาไหม้พื้นผิวชิ้นงาน ขจัดฝุ่นและคราบไขมันบนพื้นผิวผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดความเครียดของพื้นผิว และทำให้เกิดการปรับเปลี่ยนต่างๆ บนพื้นผิวชิ้นงานได้
สามารถนำไปใช้กับผลิตภัณฑ์ยาง แก้ว เซรามิก โลหะ และผลิตภัณฑ์อื่นๆ และนำไปประยุกต์ใช้ในด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์ จอ LCD, LED, LCM, แผงวงจร PCB, บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์, อุปกรณ์ทางการแพทย์, การทดลองทางวิทยาศาสตร์ชีวภาพ และสาขาอื่นๆ