تعتمد معدات تنظيف البلازما الفراغية على هيكل متكامل، وهي مجهزة بنظام تنظيف أيوني بترددات الراديو، وتحكم آلي كامل، وتشغيل وصيانة مريحة.
يمكن لمولد الترددات العالية RF توليد بلازما عالية الكثافة، وتنشيط سطح قطعة العمل وحفره وإزالة الرماد منه، وإزالة الغبار والشحوم من سطح المنتج بشكل فعال، وتخفيف إجهاد السطح، والحصول على تعديلات مختلفة على سطح قطعة العمل.
وهو قابل للتطبيق على المطاط والزجاج والسيراميك والمعادن وغيرها من المنتجات، ويستخدم في الإلكترونيات الدقيقة وشاشات الكريستال السائل (LCD) ومصابيح LED وشاشات LCM ولوحات الدوائر المطبوعة (PCB) وتغليف أشباه الموصلات والأجهزة الطبية وتجارب علوم الحياة وغيرها من المجالات.