Hoʻohana nā lako hoʻomaʻemaʻe plasma Vacuum i ka hoʻolālā i hoʻohui ʻia, i lako me ka ʻōnaehana hoʻomaʻemaʻe ion RF, ka mana piha piha, ka hana maʻalahi a me ka mālama.
Hiki i ka mea hana alapine kiʻekiʻe RF ke hana i ka plasma kiʻekiʻe, hoʻāla, ʻokiʻoki a hoʻoheheʻe i ka ʻili o ka workpiece, wehe pono i ka lepo a me ka momona ma ka ʻili o ka huahana, hoʻokuʻu i ke kaumaha o ka ʻili, a loaʻa nā hoʻololi like ʻole ma ka ʻili o ka workpiece.
He mea pili ia i ka laholio, ke aniani, ka seramika, ka metala a me nā huahana ʻē aʻe, a ua pili ʻia i ka microelectronics, LCD, LED, LCM, ka papa kaapuni PCB, ka hoʻopili semiconductor, nā mea lapaʻau, nā hoʻokolohua ʻepekema ola a me nā ʻoihana ʻē aʻe.