Ang mga kagamitan sa pagpanglimpyo sa vacuum plasma nagsagop sa integrated nga istruktura, nasangkapan sa RF ion cleaning system, hingpit nga awtomatik nga kontrol, sayon nga operasyon ug pagmentinar.
Ang RF high-frequency generator makamugna og high-density plasma, maka-activate, maka-etch ug maka-abo sa workpiece surface, epektibong makatangtang sa abog ug grasa sa product surface, makapagawas sa surface stress, ug makakuha og lain-laing mga modification sa workpiece surface.
Kini magamit sa goma, bildo, seramiko, metal ug uban pang mga produkto, ug gigamit usab sa microelectronics, LCD, LED, LCM, PCB circuit board, semiconductor packaging, mga medikal nga aparato, mga eksperimento sa siyensya sa kinabuhi ug uban pang mga natad.