Thiết bị làm sạch plasma chân không sử dụng cấu trúc tích hợp, được trang bị hệ thống làm sạch ion RF, điều khiển hoàn toàn tự động, vận hành và bảo trì thuận tiện.
Máy phát tần số cao RF có thể tạo ra plasma mật độ cao, kích hoạt, khắc và làm sạch bề mặt phôi, loại bỏ hiệu quả bụi bẩn và dầu mỡ trên bề mặt sản phẩm, giải phóng ứng suất bề mặt và đạt được nhiều biến đổi khác nhau trên bề mặt phôi.
Sản phẩm này có thể áp dụng cho cao su, thủy tinh, gốm sứ, kim loại và các vật liệu khác, được sử dụng trong vi điện tử, màn hình LCD, LED, LCM, bảng mạch PCB, bao bì bán dẫn, thiết bị y tế, thí nghiệm khoa học đời sống và các lĩnh vực khác.