Ang kagamitan sa paglilinis ng vacuum plasma ay gumagamit ng pinagsamang istraktura, nilagyan ng RF ion cleaning system, ganap na awtomatikong kontrol, maginhawang operasyon at pagpapanatili.
Ang RF high-frequency generator ay maaaring makabuo ng high-density plasma, mag-activate, mag-etch at mag-abo sa ibabaw ng workpiece, epektibong mag-alis ng alikabok at grasa sa ibabaw ng produkto, mag-alis ng stress sa ibabaw, at makakuha ng iba't ibang pagbabago sa ibabaw ng workpiece.
Ito ay naaangkop sa goma, salamin, seramiko, metal at iba pang mga produkto, at inilalapat din sa microelectronics, LCD, LED, LCM, PCB circuit board, semiconductor packaging, mga medikal na aparato, mga eksperimento sa life science at iba pang larangan.