Вакуумдық плазмалық тазалау жабдықтары интеграцияланған құрылымды қабылдайды, РФ иондық тазалау жүйесімен жабдықталған, толық автоматты басқару, ыңғайлы пайдалану және техникалық қызмет көрсету.
РФ жоғары жиілікті генераторы жоғары тығыздықтағы плазманы генерациялай алады, дайындама бетін белсендіре алады, өңдей алады және күлдейді, өнім бетіндегі шаң мен майды тиімді түрде кетіреді, беттік кернеуді босатады және дайындама бетінде әртүрлі модификациялар жасай алады.
Ол резеңке, шыны, керамика, металл және басқа да өнімдерге қолданылады және микроэлектроника, LCD, LED, LCM, PCB схемалық тақтасы, жартылай өткізгіш қаптама, медициналық құрылғылар, өмір туралы ғылым эксперименттері және басқа да салаларда қолданылады.