የቫኩም ፕላዝማ ማጽጃ መሳሪያዎች የተቀናጀ መዋቅርን ተቀብለዋል፣ በRF ion ማጽጃ ስርዓት የተገጠመለት፣ ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ ቁጥጥር፣ ምቹ አሠራር እና ጥገና አለው።
የRF ከፍተኛ ድግግሞሽ ጀነሬተር ከፍተኛ ጥግግት ያለው ፕላዝማ ማመንጨት፣ የስራውን ወለል ማግበር፣ መቅዳት እና ማሸት፣ በምርቱ ወለል ላይ ያለውን አቧራ እና ቅባት ውጤታማ በሆነ መንገድ ማስወገድ፣ የገጽታ ውጥረትን ማስወገድ እና በስራው ወለል ላይ የተለያዩ ማሻሻያዎችን ማግኘት ይችላል።
ለጎማ፣ ለመስታወት፣ ለሴራሚክ፣ ለብረት እና ለሌሎች ምርቶች ተፈጻሚ ሲሆን በማይክሮኤሌክትሮኒክስ፣ ኤልሲዲ፣ ኤልኢዲ፣ ኤልሲኤም፣ ፒሲቢ የወረዳ ሰሌዳ፣ ሴሚኮንዳክተር ማሸጊያ፣ የሕክምና መሳሪያዎች፣ የህይወት ሳይንስ ሙከራዎች እና ሌሎች መስኮች ላይ ይተገበራል።