Вакуум плазмын цэвэрлэгээний төхөөрөмж нь нэгдсэн бүтэцтэй, RF ионы цэвэрлэгээний системтэй, бүрэн автомат удирдлагатай, тохиромжтой ажиллагаа, засвар үйлчилгээтэй.
RF өндөр давтамжийн генератор нь өндөр нягтралтай плазм үүсгэж, ажлын хэсгийн гадаргууг идэвхжүүлж, сийлж, үнсэж, бүтээгдэхүүний гадаргуу дээрх тоос шороо, тосыг үр дүнтэй арилгаж, гадаргуугийн стрессийг арилгаж, ажлын хэсгийн гадаргуу дээр янз бүрийн өөрчлөлт хийх боломжтой.
Энэ нь резин, шил, керамик, металл болон бусад бүтээгдэхүүнд хамаарах бөгөөд микроэлектроник, LCD, LED, LCM, PCB хэлхээний самбар, хагас дамжуулагч сав баглаа боодол, эмнэлгийн хэрэгсэл, амьдралын шинжлэх ухааны туршилт болон бусад салбарт хэрэглэгддэг.