Вакуум плазма чистарту җиһазлары интеграцияләнгән структураны куллана, RF ион чистарту системасы белән җиһазландырылган, тулысынча автоматик идарә итү, уңайлы эшләү һәм хезмәт күрсәтү.
Югары ешлыклы радиоешлык генераторы югары тыгызлыктагы плазма генерацияли, эш кисәге өслеген активлаштыра, йомшарта һәм көлгә әйләндерә, продукт өслегендәге тузан һәм майны нәтиҗәле бетерә, өслек киеренкелеген бетерә һәм эш кисәге өслегендә төрле үзгәрешләр ясый ала.
Ул каучук, пыяла, керамика, металл һәм башка продуктларга кулланыла, шулай ук микроэлектроника, LCD, LED, LCM, PCB схема платасы, ярымүткәргеч төргәкләү, медицина җайланмалары, биология фәне экспериментлары һәм башка өлкәләрдә кулланыла.