Ohun èlò ìfọmọ́ plasma vacuum gba ìṣètò tí a ṣepọ, tí a fi ètò ìfọmọ́ ion RF ṣe, ìṣàkóso aládàáṣe pátápátá, iṣẹ́ tí ó rọrùn àti ìtọ́jú.
Ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ RF tó ní agbára gíga lè mú kí plasma tó ní agbára gíga jáde, mú kí ó ṣiṣẹ́, kí ó yọ́, kí ó sì fi eérú rú ojú iṣẹ́ náà, kí ó mú eruku àti òróró tó wà lórí ojú iṣẹ́ náà kúrò dáadáa, kí ó tú ìdààmú ojú iṣẹ́ náà sílẹ̀, kí ó sì gba onírúurú àtúnṣe lórí ojú iṣẹ́ náà.
Ó wúlò fún rọ́bà, gíláàsì, seramiki, irin àti àwọn ọjà mìíràn, a sì lò ó fún microelectronics, LCD, LED, LCM, PCB circuit board, semiconductor boxing, àwọn ẹ̀rọ ìṣègùn, àwọn àyẹ̀wò sáyẹ́ǹsì ìgbésí ayé àti àwọn ẹ̀ka mìíràn.