真空プラズマ洗浄装置は統合構造を採用し、RFイオン洗浄システム、全自動制御、便利な操作とメンテナンスを備えています。
RF高周波発生器は高密度プラズマを生成し、ワークピースの表面を活性化、エッチング、灰化し、製品表面の埃やグリースを効果的に除去し、表面応力を解放し、ワークピースの表面にさまざまな改質を施すことができます。
ゴム、ガラス、セラミック、金属などの製品に適用でき、マイクロエレクトロニクス、LCD、LED、LCM、PCB回路基板、半導体パッケージ、医療機器、ライフサイエンス実験などの分野に応用されています。