の真空コーティング装置装置は、溶接、研削、旋削、平削り、穴あけ、フライス加工など、多くの工程を経て製造される多数の精密部品で構成されています。これらの工程により、装置部品の表面には、グリース、油汚れ、金属片、溶接フラックス、研磨ペースト、汗染みなどの汚染物質が必然的に付着します。これらの汚染物質は真空条件下で揮発しやすく、装置の最終真空度に影響を与えます。
さらに、機械加工によって発生するこれらの真空汚染物質は、大気圧環境下で大量のガスを吸収し、真空状態では、以前に吸着されたこれらのガスも再び放出されるため、真空限界を制限する主要因となります。このため、真空コーティング装置の部品を組み立てる前に、これらの汚染物質を除去する必要があります。
真空装置の使用中、その構成部品も汚染される。しかし、この汚染源は主に使用条件と真空ポンプに起因する。
1. 高温条件下での真空計のフィラメントの蒸発は、セラミック絶縁体上に膜の形成を引き起こし、絶縁強度をある程度損ない、測定精度にも一定の影響を与えます。
2. 高温蒸発により、真空中の電子銃のフィラメント近傍の表面に金属膜が形成される。
3. ワークピースのスパッタリングにより、イオンビームエッチング装置の内壁が飛沫で汚染される。
4. 真空蒸着コーティング装置の内壁は、蒸着対象材料によって汚染される。
5. 真空乾燥システムがよく使用されるが、システムは蒸発した物質によって汚染される。
6. 真空コーティング装置内の拡散ポンプ油とメカニカルポンプ油も、主要な汚染源です。コーティング装置が長時間稼働すると、装置内部に油膜が形成されることがあります。
要約すると、装置の真空洗浄には、真空装置、真空システム、真空プロセス製造などの側面や関連事項に加え、真空コーティング装置自体の要件や特殊な真空プロセスの使用条件も含まれます。したがって、真空汚染は装置の性能に影響を与えるため、注意すべき問題であり、定期的な、あるいは必要に応じて清掃を行う必要があります。
投稿日時：2023年2月21日