Apa saja sumber polusi dari peralatan pelapisan vakum?

Ituperalatan pelapisan vakumPeralatan terdiri dari banyak bagian presisi yang dibuat melalui berbagai proses, seperti pengelasan, penggerindaan, pembubutan, penyerutan, pengeboran, penggilingan, dan sebagainya. Karena pekerjaan-pekerjaan ini, permukaan bagian-bagian peralatan pasti akan terkontaminasi oleh beberapa polutan seperti gemuk, kotoran minyak, serpihan logam, fluks pengelasan, pasta pemoles, bekas keringat, dan sebagainya. Polutan-polutan ini mudah menguap dalam kondisi vakum, sehingga memengaruhi vakum akhir peralatan.

Selain itu, polutan vakum dari proses mekanis ini menyerap sejumlah besar gas dalam lingkungan tekanan atmosfer, dan dalam kondisi vakum, gas-gas yang sebelumnya terserap ini juga akan dilepaskan kembali, menjadi faktor utama yang membatasi vakum maksimum. Karena alasan ini, polutan harus dihilangkan sebelum bagian-bagian mesin pelapis vakum dirakit.

Selama penggunaan peralatan vakum, komponen-komponennya juga akan terkontaminasi. Namun, polusi dari sumber ini terutama disebabkan oleh kondisi penggunaan dan pompa vakum.

1. Penguapan filamen pengukur vakum dalam kondisi suhu tinggi akan menyebabkan terbentuknya lapisan tipis pada isolator keramik, yang akan merusak kekuatan isolasinya sampai batas tertentu, dan juga berdampak pada akurasi pengukurannya;

2. Karena penguapan suhu tinggi, lapisan logam akan terbentuk di permukaan dekat filamen senapan elektron dalam kondisi vakum;

3. Akibat percikan material dari benda kerja, dinding bagian dalam peralatan etsa berkas ion akan terkontaminasi oleh percikan;

4. Dinding bagian dalam peralatan pelapisan penguapan vakum akan terkontaminasi oleh bahan target penguapannya;

5. Sistem pengeringan vakum sering digunakan, dan sistem tersebut akan terkontaminasi oleh zat-zat yang menguap;

6. Oli pompa difusi dan oli pompa mekanis pada peralatan pelapisan vakum juga merupakan sumber polusi utama. Setelah mesin pelapisan beroperasi dalam waktu lama, lapisan oli dapat terbentuk di dalam peralatan tersebut.

Kesimpulannya, sanitasi vakum peralatan melibatkan peralatan vakum, sistem vakum, produksi proses vakum, dan aspek serta keterkaitan lainnya, termasuk persyaratan peralatan pelapisan vakum itu sendiri dan proses vakum khusus pada kondisi penggunaan. Oleh karena itu, polusi vakum merupakan masalah yang patut diperhatikan, karena polusi ini akan memengaruhi kinerja peralatan, dan perlu diperhatikan pembersihan secara teratur atau kapan saja.