Leéquipement de revêtement sous videL'équipement est composé de nombreuses pièces de précision, fabriquées par divers procédés tels que le soudage, le meulage, le tournage, le rabotage, l'alésage, le fraisage, etc. Ces opérations entraînent inévitablement la contamination de la surface des pièces par des polluants comme la graisse, l'huile, les copeaux métalliques, le flux de soudage, la pâte à polir, les traces de transpiration, etc. Ces polluants se volatilisent facilement sous vide, ce qui affecte le vide poussé de l'équipement.
De plus, ces polluants issus du traitement mécanique sous vide absorbent une grande quantité de gaz à pression atmosphérique. Sous vide, ces gaz adsorbés sont libérés, constituant ainsi un facteur limitant majeur du vide limite. C'est pourquoi il est impératif d'éliminer ces polluants avant l'assemblage des pièces de la machine de revêtement sous vide.
Lors de l'utilisation d'équipements sous vide, leurs composants sont également contaminés. Cependant, cette pollution est principalement due aux conditions d'utilisation et à la pompe à vide elle-même.
1. L'évaporation du filament de la jauge à vide dans des conditions de température élevée entraînera la formation d'un film sur l'isolateur en céramique, ce qui endommagera dans une certaine mesure sa résistance à l'isolation et aura également un certain impact sur la précision de sa mesure ;
2. En raison de l'évaporation à haute température, un film métallique se formera sur la surface près du filament du canon à électrons sous vide ;
3. En raison de la pulvérisation de la pièce, la paroi intérieure de l'équipement de gravure par faisceau d'ions sera contaminée par des éclaboussures ;
4. La paroi intérieure de l'équipement de revêtement par évaporation sous vide sera contaminée par le matériau cible de son évaporation ;
5. Le système de séchage sous vide est souvent utilisé, et le système sera contaminé par les substances évaporées ;
6. L'huile des pompes à diffusion et des pompes mécaniques des équipements de revêtement sous vide constitue également une source importante de pollution. Après une utilisation prolongée de la machine, un film d'huile peut se former à l'intérieur de celle-ci.
En résumé, le nettoyage sous vide des équipements englobe l'équipement lui-même, le système de vide, le processus de production sous vide et d'autres aspects et étapes, ainsi que les exigences relatives à l'équipement de revêtement sous vide et aux conditions d'utilisation spécifiques du processus sous vide. Par conséquent, la pollution sous vide est un problème important, car elle affecte les performances de l'équipement ; un nettoyage régulier, voire systématique, est donc nécessaire.
Date de publication : 21 février 2023