ILattrezzature per rivestimento sottovuotoÈ composto da molte parti di precisione, realizzate attraverso diversi processi come saldatura, rettifica, tornitura, piallatura, alesatura, fresatura e così via. A causa di queste lavorazioni, la superficie delle parti dell'apparecchiatura si contaminerà inevitabilmente con agenti inquinanti come grasso, residui oleosi, trucioli metallici, flussante di saldatura, pasta lucidante, tracce di sudore e così via. Questi agenti inquinanti si volatilizzano facilmente in condizioni di vuoto, influenzando quindi il vuoto finale dell'apparecchiatura.
Inoltre, questi agenti inquinanti derivanti dalla lavorazione meccanica sottovuoto assorbono una grande quantità di gas nell'ambiente a pressione atmosferica e, nello stato di vuoto, questi gas precedentemente assorbiti vengono nuovamente rilasciati, diventando un fattore limitante importante per il vuoto massimo raggiungibile. Per questo motivo, gli agenti inquinanti devono essere rimossi prima dell'assemblaggio dei componenti della macchina per la deposizione sottovuoto.
Durante l'utilizzo di apparecchiature per il vuoto, anche i loro componenti si contaminano. Tuttavia, la contaminazione da questa fonte è causata principalmente dalle condizioni di utilizzo e dalla pompa del vuoto.
1. L'evaporazione del filamento del vacuometro in condizioni di alta temperatura porterà alla formazione di una pellicola sull'isolante ceramico, che danneggerà in una certa misura la sua capacità isolante e avrà anche un certo impatto sulla precisione della sua misurazione;
2. A causa dell'evaporazione ad alta temperatura, in condizioni di vuoto si formerà una pellicola metallica sulla superficie in prossimità del filamento del cannone elettronico;
3. A causa della spruzzatura del pezzo in lavorazione, la parete interna dell'apparecchiatura di incisione a fascio ionico verrà contaminata dagli schizzi;
4. La parete interna dell'apparecchiatura di rivestimento per evaporazione sottovuoto verrà contaminata dal materiale bersaglio di evaporazione;
5. Spesso si utilizza un sistema di essiccazione sottovuoto, che rischia di contaminarsi con le sostanze evaporate;
6. Anche l'olio della pompa a diffusione e l'olio della pompa meccanica nelle apparecchiature di rivestimento sottovuoto rappresentano un'importante fonte di inquinamento. Dopo un lungo periodo di funzionamento della macchina di rivestimento, all'interno dell'apparecchiatura può formarsi una pellicola d'olio.
In sintesi, la sanificazione sottovuoto delle apparecchiature coinvolge apparecchiature per il vuoto, sistemi per il vuoto, processi di produzione sottovuoto e altri aspetti e collegamenti, nonché i requisiti delle apparecchiature di rivestimento sottovuoto stesse e le specifiche condizioni di utilizzo del processo sottovuoto. Pertanto, la contaminazione da vuoto è un problema che merita attenzione, poiché influisce sulle prestazioni delle apparecchiature, e occorre prestare attenzione alla pulizia regolare o comunque necessaria.
Data di pubblicazione: 21 febbraio 2023