ILapparecchiature di rivestimento sottovuotoè composto da molte parti precise, realizzate attraverso molti processi, come saldatura, rettifica, tornitura, piallatura, alesatura, fresatura e così via.A causa di questi lavori, la superficie delle parti dell'attrezzatura sarà inevitabilmente contaminata da alcuni inquinanti come grasso, sporco d'olio, trucioli di metallo, flusso di saldatura, pasta lucidante, segni di sudore e così via.Questi inquinanti sono facili da volatilizzare in condizioni di vuoto, influenzando così il vuoto limite dell'apparecchiatura.
Inoltre, questi inquinanti sottovuoto derivanti dalla lavorazione meccanica assorbono una grande quantità di gas nell'ambiente a pressione atmosferica e, nello stato di vuoto, anche questi gas precedentemente adsorbiti verranno nuovamente rilasciati, diventando un fattore importante che limita il vuoto limite.Per questo motivo, gli inquinanti devono essere rimossi prima dell'assemblaggio delle parti della macchina di rivestimento sottovuoto.
Durante l'uso dell'attrezzatura per il vuoto, anche i suoi componenti saranno contaminati.Tuttavia, l'inquinamento da questa fonte è causato principalmente dalle condizioni di utilizzo e dalla pompa del vuoto.
1. L'evaporazione del filamento del vacuometro in condizioni di alta temperatura porterà alla formazione di una pellicola sull'isolante ceramico, che danneggerà in una certa misura la sua resistenza all'isolamento e avrà anche un certo impatto sulla precisione della sua misurazione;
2. A causa dell'evaporazione ad alta temperatura, si formerà una pellicola metallica sulla superficie vicino al filamento del cannone elettronico nel vuoto;
3. A causa dello sputtering del pezzo in lavorazione, la parete interna dell'apparecchiatura di incisione del raggio ionico sarà contaminata da schizzi;
4. La parete interna dell'apparecchiatura di rivestimento per evaporazione sotto vuoto sarà contaminata dal suo materiale bersaglio di evaporazione;
5. Viene spesso utilizzato un sistema di asciugatura sottovuoto e il sistema sarà contaminato dalle sostanze evaporate;
6. Anche l'olio della pompa di diffusione e l'olio della pompa meccanica nell'apparecchiatura di rivestimento sottovuoto sono una delle principali fonti di inquinamento.Dopo che la macchina di rivestimento ha funzionato a lungo, all'interno dell'apparecchiatura potrebbe formarsi un film d'olio.
Per riassumere, la sanificazione sottovuoto delle apparecchiature coinvolge l'apparecchiatura sottovuoto, il sistema sottovuoto, la produzione del processo sottovuoto e altri aspetti e collegamenti, nonché i requisiti dell'apparecchiatura di rivestimento sottovuoto stessa e lo speciale processo sottovuoto sulle condizioni d'uso.Pertanto, l'inquinamento da vuoto è un problema degno di attenzione, poiché questi inquinamenti influiranno sulle prestazioni dell'apparecchiatura e si dovrebbe prestare attenzione alla pulizia regolare o in qualsiasi momento.
Orario di pubblicazione: 21 febbraio 2023