แหล่งกำเนิดมลพิษของอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศมีอะไรบ้าง

เดอะอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศเครื่องจักรประกอบด้วยชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูงจำนวนมาก ซึ่งผลิตผ่านกระบวนการต่างๆ มากมาย เช่น การเชื่อม การเจียร การกลึง การไส การเจาะ การกัด และอื่นๆ เนื่องจากการทำงานเหล่านี้ พื้นผิวของชิ้นส่วนเครื่องจักรจึงย่อมปนเปื้อนด้วยสิ่งสกปรกต่างๆ เช่น จาระเบา คราบน้ำมัน เศษโลหะ น้ำยาประสาน น้ำยาขัดเงา คราบเหงื่อ และอื่นๆ สิ่งสกปรกเหล่านี้ระเหยได้ง่ายภายใต้สภาวะสุญญากาศ จึงส่งผลกระทบต่อระดับสุญญากาศสูงสุดของเครื่องจักร

นอกจากนี้ มลพิษในสุญญากาศที่เกิดจากกระบวนการทางกลเหล่านี้จะดูดซับก๊าซจำนวนมากในสภาพแวดล้อมที่มีความดันบรรยากาศ และในสภาวะสุญญากาศ ก๊าซที่ถูกดูดซับไว้ก่อนหน้านี้ก็จะถูกปล่อยออกมาอีกครั้ง ซึ่งกลายเป็นปัจจัยสำคัญที่จำกัดขีดจำกัดของสุญญากาศ ด้วยเหตุนี้ จึงจำเป็นต้องกำจัดมลพิษออกก่อนที่จะประกอบชิ้นส่วนของเครื่องเคลือบสุญญากาศ

ในระหว่างการใช้งานอุปกรณ์สุญญากาศ ชิ้นส่วนต่างๆ ของอุปกรณ์ก็จะเกิดการปนเปื้อนเช่นกัน อย่างไรก็ตาม การปนเปื้อนจากแหล่งนี้ส่วนใหญ่เกิดจากสภาพการใช้งานและปั๊มสุญญากาศ

1. การระเหยของไส้หลอดของเกจวัดสุญญากาศภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูงจะทำให้เกิดฟิล์มขึ้นบนฉนวนเซรามิก ซึ่งจะทำให้ความแข็งแรงของฉนวนลดลงในระดับหนึ่ง และยังส่งผลกระทบต่อความแม่นยำในการวัดอีกด้วย

2. เนื่องจากการระเหยที่อุณหภูมิสูง ฟิล์มโลหะจะก่อตัวขึ้นบนพื้นผิวใกล้กับไส้หลอดของปืนอิเล็กตรอนในสภาวะสุญญากาศ

3. เนื่องจากการกระเด็นของชิ้นงาน ผนังด้านในของอุปกรณ์กัดเซาะด้วยลำแสงไอออนจะปนเปื้อนด้วยละอองกระเด็น

4. ผนังด้านในของอุปกรณ์เคลือบผิวด้วยการระเหยในสุญญากาศจะปนเปื้อนด้วยวัสดุเป้าหมายในการระเหย

5. โดยทั่วไปมักใช้ระบบอบแห้งแบบสุญญากาศ และระบบจะปนเปื้อนด้วยสารที่ระเหยออกมา

6. น้ำมันปั๊มแบบแพร่กระจายและน้ำมันปั๊มเชิงกลในอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศก็เป็นแหล่งมลพิษที่สำคัญเช่นกัน หลังจากเครื่องเคลือบทำงานเป็นเวลานาน อาจเกิดฟิล์มน้ำมันขึ้นภายในเครื่องได้

โดยสรุปแล้ว การทำความสะอาดอุปกรณ์ด้วยระบบสุญญากาศนั้นเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์สุญญากาศ ระบบสุญญากาศ กระบวนการผลิตด้วยระบบสุญญากาศ และด้านอื่นๆ รวมถึงข้อกำหนดของอุปกรณ์เคลือบด้วยระบบสุญญากาศเองและเงื่อนไขการใช้งานของกระบวนการสุญญากาศพิเศษ ดังนั้น มลภาวะจากระบบสุญญากาศจึงเป็นปัญหาที่ควรให้ความสนใจ เพราะมลภาวะเหล่านี้จะส่งผลต่อประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ และควรให้ความสำคัญกับการทำความสะอาดอย่างสม่ำเสมอหรือตลอดเวลา