แหล่งกำเนิดมลพิษของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศคืออะไร

เดอะอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศประกอบด้วยชิ้นส่วนที่แม่นยำจำนวนมากซึ่งผ่านกระบวนการต่างๆ มากมาย เช่น การเชื่อม การเจียร การกลึง การไส การคว้าน การกัดและอื่นๆเนื่องจากการทำงานเหล่านี้ พื้นผิวของชิ้นส่วนอุปกรณ์จึงหลีกเลี่ยงไม่ได้ที่จะปนเปื้อนสารมลพิษบางชนิด เช่น จาระบี สิ่งสกปรกจากน้ำมัน เศษโลหะ ฟลักซ์เชื่อม น้ำยาขัดเงา รอยเหงื่อ และอื่นๆมลพิษเหล่านี้ระเหยง่ายภายใต้สภาวะสุญญากาศ จึงส่งผลต่อสุญญากาศสูงสุดของอุปกรณ์

นอกจากนี้ สารมลพิษที่เป็นสุญญากาศจากกระบวนการทางกลเหล่านี้ยังดูดซับก๊าซจำนวนมากในสภาพแวดล้อมที่มีความดันบรรยากาศ และในสถานะสุญญากาศ ก๊าซที่ดูดซับไว้ก่อนหน้านี้จะถูกปล่อยออกมาอีกครั้ง กลายเป็นปัจจัยสำคัญที่จำกัดขีดจำกัดของสุญญากาศด้วยเหตุนี้ มลพิษจึงต้องถูกกำจัดออกก่อนที่จะประกอบชิ้นส่วนของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

ในระหว่างการใช้อุปกรณ์สุญญากาศ ส่วนประกอบของอุปกรณ์จะปนเปื้อนไปด้วยอย่างไรก็ตามมลพิษจากแหล่งกำเนิดนี้มีสาเหตุหลักมาจากสภาพการใช้งานและปั๊มสุญญากาศ

1. การระเหยของไส้หลอดของมาตรวัดสุญญากาศภายใต้สภาวะที่มีอุณหภูมิสูงจะนำไปสู่การก่อตัวของฟิล์มบนฉนวนเซรามิก ซึ่งจะทำให้ความแข็งแรงของฉนวนเสียหายในระดับหนึ่ง และยังส่งผลต่อความแม่นยำของฉนวนด้วย การวัด;

2. เนื่องจากการระเหยที่อุณหภูมิสูง ฟิล์มโลหะจะก่อตัวขึ้นบนพื้นผิวใกล้กับเส้นใยของปืนอิเล็กตรอนในสุญญากาศ

3. เนื่องจากการสปัตเตอริงของชิ้นงาน ผนังด้านในของอุปกรณ์แกะสลักลำแสงไอออนจะปนเปื้อนจากการกระเซ็น

4. ผนังด้านในของอุปกรณ์เคลือบการระเหยด้วยสุญญากาศจะถูกปนเปื้อนด้วยวัสดุเป้าหมายการระเหย

5. ระบบอบแห้งแบบสุญญากาศมักใช้และระบบจะปนเปื้อนจากสารระเหย

6. น้ำมันปั๊มแพร่และน้ำมันปั๊มเชิงกลในอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศก็เป็นแหล่งมลพิษที่สำคัญเช่นกันหลังจากเครื่องเคลือบทำงานเป็นเวลานาน ฟิล์มน้ำมันอาจก่อตัวขึ้นภายในอุปกรณ์

กล่าวโดยสรุป การสุขาภิบาลสุญญากาศของอุปกรณ์เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์สุญญากาศ ระบบสุญญากาศ การผลิตกระบวนการสุญญากาศ และแง่มุมอื่นๆ และการเชื่อมโยง ตลอดจนข้อกำหนดของอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศเองและกระบวนการสุญญากาศพิเศษตามเงื่อนไขการใช้งานดังนั้น มลพิษจากสุญญากาศจึงเป็นปัญหาที่ควรค่าแก่การเอาใจใส่ เนื่องจากมลพิษเหล่านี้จะส่งผลต่อประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ และควรให้ความสนใจกับการทำความสะอาดเป็นประจำหรือเมื่อใดก็ได้