¿Cuáles son las fuentes de contaminación de los equipos de recubrimiento al vacío?

Elequipos de recubrimiento al vacíoEstá compuesto por numerosas piezas de precisión, fabricadas mediante diversos procesos como soldadura, rectificado, torneado, cepillado, mandrinado, fresado, etc. Debido a estos procesos, la superficie de las piezas se contamina inevitablemente con sustancias como grasa, aceite, virutas metálicas, fundente de soldadura, pasta de pulir, marcas de sudor, etc. Estas sustancias se volatilizan fácilmente en condiciones de vacío, afectando así al vacío final del equipo.

Además, estos contaminantes de vacío provenientes del procesamiento mecánico absorben una gran cantidad de gas en el entorno de presión atmosférica, y en el vacío, estos gases previamente adsorbidos se liberan nuevamente, convirtiéndose en un factor importante que limita el vacío. Por esta razón, los contaminantes deben eliminarse antes del ensamblaje de las piezas de la máquina de recubrimiento al vacío.

Durante el uso de equipos de vacío, sus componentes también se contaminan. Sin embargo, la contaminación proveniente de esta fuente se debe principalmente a las condiciones de uso y a la bomba de vacío.

1. La evaporación del filamento del manómetro de vacío en condiciones de alta temperatura dará lugar a la formación de una película sobre el aislante cerámico, lo que dañará su capacidad de aislamiento en cierta medida y también tendrá cierto impacto en la precisión de su medición;

2. Debido a la evaporación a alta temperatura, se formará una película metálica en la superficie cercana al filamento del cañón de electrones en el vacío;

3. Debido a la pulverización catódica de la pieza de trabajo, la pared interior del equipo de grabado por haz de iones se contaminará con salpicaduras;

4. La pared interior del equipo de recubrimiento por evaporación al vacío se contaminará con el material objetivo de evaporación;

5. El sistema de secado al vacío se utiliza con frecuencia, y el sistema se contaminará con las sustancias evaporadas;

6. El aceite de la bomba de difusión y el aceite de la bomba mecánica en los equipos de recubrimiento al vacío también constituyen una importante fuente de contaminación. Tras un largo periodo de funcionamiento de la máquina de recubrimiento, puede formarse una película de aceite en su interior.

En resumen, la desinfección por vacío de los equipos abarca el equipo de vacío, el sistema de vacío, el proceso de producción por vacío y otros aspectos y conexiones, así como los requisitos del propio equipo de recubrimiento por vacío y las condiciones especiales de uso del proceso de vacío. Por lo tanto, la contaminación por vacío es un problema que merece atención, ya que afecta al rendimiento del equipo, y se debe prestar atención a la limpieza periódica o constante.