Theвакуумдық жабын жабдықтарыдәнекерлеу, тегістеу, жону, тегістеу, бұрғылау, фрезерлеу және тағы басқа көптеген процестер арқылы жасалған көптеген дәл бөлшектерден тұрады. Осы жұмыстардың салдарынан жабдық бөлшектерінің беті сөзсіз май, май кірі, металл үгінділері, дәнекерлеу ағыны, жылтырату пастасы, тер іздері және тағы басқалар сияқты кейбір ластаушы заттармен ластанады. Бұл ластаушы заттар вакуум жағдайында оңай ұшып кетеді, осылайша жабдықтың соңғы вакуумына әсер етеді.
Сонымен қатар, механикалық өңдеуден пайда болатын бұл вакуумдық ластаушы заттар атмосфералық қысым ортасында көп мөлшерде газды сіңіреді, ал вакуум күйінде бұрын адсорбцияланған бұл газдар да қайтадан бөлінеді, бұл шекті вакуумды шектейтін негізгі факторға айналады. Осы себепті вакуумдық жабын машинасының бөлшектерін жинамас бұрын ластаушы заттарды кетіру қажет.
Вакуумдық жабдықты пайдалану кезінде оның компоненттері де ластанады. Дегенмен, бұл көзден ластану негізінен пайдалану жағдайлары мен вакуумдық сорғыдан туындайды.
1. Вакуумдық өлшеуіштің жіпшесінің жоғары температура жағдайында булануы керамикалық оқшаулағышта пленканың пайда болуына әкеледі, бұл оның оқшаулау беріктігіне белгілі бір дәрежеде зиян келтіреді, сондай-ақ оны өлшеу дәлдігіне белгілі бір әсер етеді;
2. Жоғары температурада булану салдарынан вакуумдағы электронды тапаншаның жіпшесінің жанындағы бетінде металл пленка пайда болады;
3. Дайындаманың шашырауына байланысты иондық сәулемен өңдеу жабдығының ішкі қабырғасы шашырандылармен ластанады;
4. Вакуумдық булану жабыны жабдығының ішкі қабырғасы оның булану нысанасы материалымен ластанады;
5. Вакуумдық кептіру жүйесі жиі қолданылады, және жүйе буланған заттармен ластанады;
6. Вакуумдық жабын жабдықтарындағы диффузиялық сорғы майы және механикалық сорғы майы да ластанудың негізгі көзі болып табылады. Жабын машинасы ұзақ уақыт жұмыс істегеннен кейін жабдықтың ішінде май қабығы пайда болуы мүмкін.
Қорытындылай келе, жабдықты вакуумдық санитариялау вакуумдық жабдықты, вакуумдық жүйені, вакуумдық процесті өндіруді және басқа да аспектілер мен байланыстарды, сондай-ақ вакуумдық жабын жабдықтарының өзіне және пайдалану жағдайларына қойылатын арнайы вакуумдық процеске қойылатын талаптарды қамтиды. Сондықтан, вакуумдық ластану назар аударуға тұрарлық мәселе болып табылады, себебі бұл ластану жабдықтың жұмысына әсер етеді, сондықтан үнемі немесе кез келген уақытта тазалауға назар аудару керек.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 21 ақпан

