Apa sumber polusi saka peralatan lapisan vakum?

Ingperalatan lapisan vakumdumadi saka akeh bagean sing presisi, sing digawe liwat akeh proses, kayata ngelas, nggiling, muter, ngerata, ngebor, nggiling lan liya-liyane. Amarga saka pakaryan kasebut, permukaan bagean peralatan mesthi bakal kena kontaminasi karo sawetara polutan kayata lemak, rereget lenga, serpihan logam, fluks las, pasta poles, tandha kringet lan liya-liyane. Polutan kasebut gampang nguap ing kahanan vakum, saengga mengaruhi vakum pungkasan peralatan.

Kajaba iku, polutan vakum saka proses mekanik iki nyerep akeh gas ing lingkungan tekanan atmosfer, lan ing kahanan vakum, gas sing sadurunge diserap iki uga bakal dirilis maneh, dadi faktor utama sing mbatesi watesan vakum. Mulane, polutan kudu dicopot sadurunge bagean-bagean mesin pelapisan vakum dirakit.

Sajrone panggunaan piranti vakum, komponen-komponen kasebut uga bakal tercemar. Nanging, polusi saka sumber iki utamane disebabake dening kahanan panggunaan lan pompa vakum.

1. Penguapan filamen gauge vakum ing kahanan suhu dhuwur bakal nyebabake pembentukan film ing insulator keramik, sing bakal ngrusak kekuatan insulasi nganti tingkat tartamtu, lan uga duwe pengaruh tartamtu marang akurasi pangukuran;

2. Amarga penguapan suhu dhuwur, film logam bakal kawangun ing permukaan cedhak filamen bedhil elektron ing vakum;

3. Amarga benda kerja muncrat, tembok njero peralatan etsa sinar ion bakal kena kontaminasi cipratan;

4. Tembok njero peralatan lapisan penguapan vakum bakal kena kontaminasi dening bahan target penguapan;

5. Sistem pangeringan vakum asring digunakake, lan sistem kasebut bakal terkontaminasi dening zat sing nguap;

6. Lenga pompa difusi lan lenga pompa mekanik ing peralatan pelapisan vakum uga minangka sumber polusi utama. Sawise mesin pelapisan wis suwe digunakake, lapisan lenga bisa kawangun ing njero peralatan kasebut.

Ringkesane, sanitasi vakum peralatan nglibatake peralatan vakum, sistem vakum, produksi proses vakum lan aspek lan pranala liyane, uga syarat peralatan lapisan vakum dhewe lan proses vakum khusus babagan kahanan panggunaan. Mulane, polusi vakum minangka masalah sing pantes digatekake, amarga polusi kasebut bakal mengaruhi kinerja peralatan, lan perhatian kudu diwenehake marang pembersihan rutin utawa kapan wae.