Ano ang mga pinagmumulan ng polusyon ng mga kagamitan sa vacuum coating

Angkagamitan sa patong ng vacuumay binubuo ng maraming tiyak na bahagi, na ginagawa sa pamamagitan ng maraming proseso, tulad ng hinang, paggiling, pagpihit, pagpaplano, pagbubutas, paggiling at iba pa. Dahil sa mga gawaing ito, ang ibabaw ng mga bahagi ng kagamitan ay hindi maiiwasang mahawahan ng ilang mga pollutant tulad ng grasa, dumi ng langis, mga piraso ng metal, welding flux, polishing paste, mga marka ng pawis at iba pa. Ang mga pollutant na ito ay madaling mag-volatilize sa ilalim ng mga kondisyon ng vacuum, kaya nakakaapekto sa ultimate vacuum ng kagamitan.

Bukod pa rito, ang mga vacuum pollutant na ito mula sa mekanikal na pagproseso ay sumisipsip ng malaking dami ng gas sa kapaligirang may presyon ng atmospera, at sa estado ng vacuum, ang mga dating na-adsorb na gas na ito ay muling ilalabas, na magiging isang pangunahing salik na naglilimita sa limitasyon ng vacuum. Dahil dito, dapat tanggalin ang mga pollutant bago i-assemble ang mga bahagi ng vacuum coating machine.

Sa panahon ng paggamit ng mga kagamitang pang-vacuum, ang mga bahagi nito ay magiging kontaminado rin. Gayunpaman, ang polusyon mula sa pinagmumulan na ito ay pangunahing sanhi ng mga kondisyon ng paggamit at ng vacuum pump.

1. Ang pagsingaw ng filament ng vacuum gauge sa ilalim ng mga kondisyon ng mataas na temperatura ay hahantong sa pagbuo ng isang pelikula sa ceramic insulator, na makakasira sa lakas ng pagkakabukod nito sa isang tiyak na lawak, at magkakaroon din ng isang tiyak na epekto sa katumpakan ng pagsukat nito;

2. Dahil sa pagsingaw sa mataas na temperatura, isang metal film ang mabubuo sa ibabaw malapit sa filament ng electron gun sa vacuum;

3. Dahil sa pagtalsik ng workpiece, ang panloob na dingding ng kagamitan sa pag-ukit ng ion beam ay makokontamina ng mga tilamsik;

4. Ang panloob na dingding ng kagamitan sa vacuum evaporation coating ay kontaminado ng materyal na target nito sa evaporation;

5. Madalas gamitin ang vacuum drying system, at ang sistema ay makokontamina ng mga sumingaw na sangkap;

6. Ang diffusion pump oil at mechanical pump oil sa vacuum coating equipment ay isa ring pangunahing pinagmumulan ng polusyon. Matapos gumana nang matagal ang coating machine, maaaring mabuo ang isang oil film sa loob ng kagamitan.

Bilang buod, ang vacuum sanitation ng mga kagamitan ay kinabibilangan ng mga vacuum equipment, vacuum system, produksyon ng proseso ng vacuum at iba pang aspeto at kaugnay nito, pati na rin ang mga kinakailangan ng vacuum coating equipment mismo at ang mga espesyal na proseso ng vacuum sa mga kondisyon ng paggamit. Samakatuwid, ang polusyon sa vacuum ay isang problemang dapat bigyang-pansin, dahil ang mga polusyong ito ay makakaapekto sa pagganap ng kagamitan, at dapat bigyang-pansin ang regular o anumang oras ng paglilinis.