المعدات الطلاء بالتفريغيتكون الجهاز من أجزاء دقيقة عديدة، تُصنع عبر عمليات متنوعة، كالتّححام والطحن والخراطة والتسوية والتجويف والتفريز وغيرها. ونتيجةً لهذه العمليات، تتلوث أسطح أجزاء الجهاز حتماً ببعض الملوثات كالشحوم والزيوت والبرادة المعدنية ومخلفات اللحام ومعجون التلميع وآثار العرق وغيرها. هذه الملوثات سهلة التبخر في ظروف الفراغ، مما يؤثر على مستوى الفراغ النهائي للجهاز.
إضافةً إلى ذلك، تمتص ملوثات الفراغ الناتجة عن المعالجة الميكانيكية كمية كبيرة من الغازات في بيئة الضغط الجوي، وفي حالة الفراغ، تُطلق هذه الغازات الممتصة سابقًا مرة أخرى، مما يُشكل عاملًا رئيسيًا يُحد من مستوى الفراغ المطلوب. لهذا السبب، يجب إزالة هذه الملوثات قبل تجميع أجزاء آلة الطلاء الفراغي.
أثناء استخدام معدات التفريغ، تتلوث مكوناتها أيضاً. ومع ذلك، فإن التلوث الناتج عن هذا المصدر يرجع أساساً إلى ظروف الاستخدام ومضخة التفريغ.
1. سيؤدي تبخر خيط مقياس الفراغ في ظل ظروف درجات الحرارة العالية إلى تكوين طبقة على العازل الخزفي، مما سيؤدي إلى إتلاف قوة عزله إلى حد ما، وسيكون له أيضًا تأثير معين على دقة قياسه؛
2. بسبب التبخر بدرجة حرارة عالية، ستتشكل طبقة معدنية على السطح بالقرب من خيط مسدس الإلكترون في الفراغ؛
3. بسبب تناثر قطعة العمل، سيتلوث الجدار الداخلي لمعدات حفر شعاع الأيونات بالرذاذ؛
4. سيتلوث الجدار الداخلي لمعدات طلاء التبخير الفراغي بمادة هدف التبخير الخاصة بها؛
5. غالبًا ما يتم استخدام نظام التجفيف بالتفريغ، وسيتلوث النظام بالمواد المتبخرة؛
٦- يُعد زيت مضخة الانتشار وزيت المضخة الميكانيكية في معدات الطلاء الفراغي مصدراً رئيسياً للتلوث. فبعد تشغيل آلة الطلاء لفترة طويلة، قد تتشكل طبقة زيتية داخلها.
باختصار، تشمل عملية تعقيم المعدات بالتفريغ الهوائي المعدات نفسها، ونظام التفريغ، وعملية الإنتاج بالتفريغ، وغيرها من الجوانب والروابط، بالإضافة إلى متطلبات معدات الطلاء بالتفريغ الهوائي نفسها وظروف استخدام عملية التفريغ الهوائي الخاصة. لذا، يُعدّ التلوث الناتج عن التفريغ الهوائي مشكلةً جديرةً بالاهتمام، لأن هذا التلوث سيؤثر على أداء المعدات، ويجب الحرص على تنظيفها بانتظام أو في أي وقت.
تاريخ النشر: 21 فبراير 2023