Oequipamento de revestimento a vácuoÉ composto por muitas peças de precisão, fabricadas por meio de diversos processos, como soldagem, retificação, torneamento, aplainamento, furação, fresagem e outros. Devido a esses processos, a superfície das peças do equipamento inevitavelmente fica contaminada com poluentes como graxa, sujeira oleosa, cavacos de metal, fluxo de solda, pasta de polimento, marcas de suor, entre outros. Esses poluentes volatiliza-se facilmente em condições de vácuo, afetando, assim, o vácuo final do equipamento.
Além disso, esses poluentes provenientes do processamento mecânico absorvem uma grande quantidade de gás em ambiente de pressão atmosférica e, no estado de vácuo, esses gases previamente adsorvidos são liberados novamente, tornando-se um fator limitante importante para o vácuo máximo. Por essa razão, os poluentes devem ser removidos antes da montagem das peças da máquina de revestimento a vácuo.
Durante a utilização de equipamentos de vácuo, seus componentes também serão contaminados. No entanto, a contaminação proveniente dessa fonte é causada principalmente pelas condições de uso e pela bomba de vácuo.
1. A evaporação do filamento do medidor de vácuo em condições de alta temperatura levará à formação de uma película no isolador cerâmico, o que prejudicará sua resistência de isolamento até certo ponto, e também terá um certo impacto na precisão de sua medição;
2. Devido à evaporação em alta temperatura, uma película metálica se formará na superfície próxima ao filamento do canhão de elétrons no vácuo;
3. Devido à pulverização catódica da peça de trabalho, a parede interna do equipamento de gravação por feixe de íons será contaminada por respingos;
4. A parede interna do equipamento de revestimento por evaporação a vácuo será contaminada pelo material alvo da evaporação;
5. O sistema de secagem a vácuo é frequentemente utilizado, e o sistema será contaminado pelas substâncias evaporadas;
6. O óleo da bomba de difusão e o óleo da bomba mecânica nos equipamentos de revestimento a vácuo também são uma importante fonte de contaminação. Após o funcionamento prolongado da máquina de revestimento, pode formar-se uma película de óleo no interior do equipamento.
Em resumo, a higienização a vácuo de equipamentos envolve o próprio equipamento de vácuo, o sistema de vácuo, o processo de produção a vácuo e outros aspectos e conexões, bem como os requisitos do próprio equipamento de revestimento a vácuo e as condições de uso específicas do processo a vácuo. Portanto, a contaminação do vácuo é um problema que merece atenção, pois essa contaminação afetará o desempenho do equipamento, sendo necessária a limpeza regular ou mesmo a qualquer momento.
Data da publicação: 21 de fevereiro de 2023