그만큼진공 코팅 장비진공 장비는 용접, 연삭, 선삭, 평삭, 보링, 밀링 등 여러 공정을 거쳐 제작되는 정밀 부품들로 구성됩니다. 이러한 가공 과정으로 인해 장비 부품 표면에는 그리스, 오일 찌꺼기, 금속 칩, 용접 플럭스, 연마 페이스트, 땀 자국 등의 오염 물질이 필연적으로 묻게 됩니다. 이러한 오염 물질들은 진공 상태에서 쉽게 휘발되어 장비의 최종 진공도에 영향을 미칩니다.
또한, 기계 가공 과정에서 발생하는 이러한 진공 오염 물질은 대기압 환경에서 다량의 가스를 흡수하며, 진공 상태에서는 이전에 흡수되었던 가스들이 다시 방출되어 진공 한계를 제한하는 주요 요인이 됩니다. 따라서 진공 코팅 장비의 부품을 조립하기 전에 이러한 오염 물질을 반드시 제거해야 합니다.
진공 장비를 사용하는 동안 장비 구성 요소도 오염될 수 있습니다. 그러나 이러한 오염은 주로 사용 조건과 진공 펌프에 의해 발생합니다.
1. 고온 조건에서 진공계의 필라멘트가 증발하면 세라믹 절연체 표면에 막이 형성되어 절연 강도가 어느 정도 손상될 뿐만 아니라 측정 정확도에도 영향을 미칩니다.
2. 고온 증발로 인해 진공 상태의 전자총 필라멘트 근처 표면에 금속막이 형성됩니다.
3. 가공물 스퍼터링으로 인해 이온 빔 에칭 장비의 내부 벽이 스플래시로 오염될 수 있습니다.
4. 진공 증착 코팅 장비의 내벽은 증착 대상 물질로 오염될 것입니다.
5. 진공 건조 시스템이 자주 사용되는데, 이 시스템은 증발된 물질에 의해 오염될 수 있습니다.
6. 진공 코팅 장비의 확산 펌프 오일과 기계식 펌프 오일 또한 주요 오염원입니다. 코팅 장비가 장시간 작동하면 장비 내부에 유막이 형성될 수 있습니다.
요약하자면, 장비의 진공 살균은 진공 장비, 진공 시스템, 진공 공정 생산 등 다양한 측면과 연결 고리는 물론, 진공 코팅 장비 자체 및 특수 진공 공정의 사용 조건에 대한 요구 사항까지 포함합니다. 따라서 진공 오염은 장비 성능에 영향을 미치므로 주의 깊게 살펴야 할 문제이며, 정기적 또는 언제든지 청소에 신경 써야 합니다.
게시 시간: 2023년 2월 21일