Chì sò e fonti di contaminazione di l'equipaggiu di revestimentu di vacuum

Uequipaggiu di rivestimentu di vacuumhè cumpostu di parechje parti precise, chì sò fatte attraversu parechji prucessi, cum'è saldatura, grinding, turning, planing, foring, fresatura è cusì.Per via di sti travaglii, a superficia di e parti di l'equipaggiu serà inevitabbilmente contaminata da certi inquinanti cum'è grassu, terra d'oliu, chips di metalli, flussu di saldatura, pasta di lucidatura, marchi di sudore è cusì.Questi contaminanti sò faciuli di volatilizà in cundizioni di vacuum, affettendu cusì u vacuum finale di l'equipaggiu.

In più, sti contaminanti vacuum da trasfurmazioni miccanicu assorbenu una grande quantità di gas in l'ambienti di pressione atmosferica, è in u statu di vacuum, sti gasi adsorbiti prima seranu liberati dinò, diventendu un fattore maiò chì limita u vacuum limite.Per quessa, i contaminanti deve esse eliminati prima chì e parti di a macchina di u vacuum coating sò assemblati.

Durante l'usu di l'equipaggiu di vacuum, i so cumpunenti seranu ancu contaminati.Tuttavia, a contaminazione da sta surgente hè principalmente causata da e cundizioni d'usu è a pompa di vacuum.

1. L'evaporazione di u filamentu di u vacuum gauge in cundizioni d'alta temperatura portarà à a furmazione di una film nantu à l'insulator ceramicu, chì dannu a so forza d'insulazione in una certa misura, è ancu avè un certu impattu nantu à a precisione di u so insulatore. misurazione;

2. A causa di l'evaporazione di l'alta temperatura, un film di metallu serà furmatu nantu à a superficia vicinu à u filamentu di u cannone elettroni in vacuum;

3. A causa di sputtering di u travagliu, u muru internu di l'equipaggiu d'incisione di u fasciu di ioni serà contaminatu da spruzzi;

4. U muru internu di l'equipaggiu di revestimentu di evaporazione di vacuum serà contaminatu da u so materiale di destinazione di evaporazione;

5. U sistema di asciugatura di u vacuum hè spessu usatu, è u sistema serà contaminatu da i sustanzi evaporati;

6. L'oliu di pompa di diffusione è l'oliu di pompa meccanica in l'equipaggiu di u vacuum coating sò ancu una fonte maiò di contaminazione.Dopu chì a macchina di rivestimentu hà travagliatu per un bellu pezzu, una film d'oliu pò esse formate in l'equipaggiu.

Per riassume, a sanificazione di vacuum di l'equipaggiu implica l'equipaggiu di vacuum, u sistema di vacuum, a produzzione di prucessu di vacuum è altri aspetti è ligami, è ancu i requisiti di l'equipaggiu di vacuum coating stessu è u prucessu di vacuum speciale nantu à e cundizioni d'usu.Per quessa, a contaminazione di u vacuum hè un prublema degne d'attenzione, perchè sti contaminazioni affettanu u funziunamentu di l'equipaggiu, è l'attenzione deve esse pagata à a pulizia regulare o in ogni mumentu.