DevacuümcoatingapparatuurHet apparaat is opgebouwd uit vele nauwkeurige onderdelen, die vervaardigd worden door middel van diverse processen zoals lassen, slijpen, draaien, schaven, boren, frezen, enzovoort. Door deze bewerkingen raakt het oppervlak van de onderdelen onvermijdelijk vervuild met stoffen zoals vet, olie, metaalspanen, lasvloeistof, polijstpasta, zweetvlekken, enzovoort. Deze verontreinigingen verdampen gemakkelijk onder vacuümomstandigheden, waardoor het uiteindelijke vacuüm van het apparaat wordt beïnvloed.
Daarnaast absorberen deze vacuümverontreinigingen, afkomstig van mechanische bewerking, een grote hoeveelheid gas in de atmosferische druk. In de vacuümtoestand komen deze eerder geadsorbeerde gassen weer vrij, wat een belangrijke beperkende factor is voor het vacuüm. Om deze reden moeten de verontreinigingen worden verwijderd voordat de onderdelen van de vacuümcoatingmachine worden gemonteerd.
Tijdens het gebruik van vacuümapparatuur raken ook de onderdelen ervan vervuild. Deze vervuiling wordt echter voornamelijk veroorzaakt door de gebruiksomstandigheden en de vacuümpomp zelf.
1. Door de verdamping van het gloeidraadje van de vacuümmeter bij hoge temperaturen ontstaat er een film op de keramische isolator, waardoor de isolatiekracht ervan tot op zekere hoogte afneemt en de nauwkeurigheid van de meting wordt beïnvloed;
2. Door verdamping bij hoge temperatuur zal zich in het vacuüm een metaalfilm vormen op het oppervlak nabij de gloeidraad van het elektronenkanon;
3. Door het sputteren van het werkstuk zal de binnenwand van de ionenbundel-etsapparatuur verontreinigd raken door spatten;
4. De binnenwand van de vacuümverdampingscoatingapparatuur zal vervuild raken door het te verdampen doelmateriaal;
5. Er wordt vaak gebruikgemaakt van een vacuümdroogsysteem, maar dit systeem raakt vervuild door de verdampte stoffen;
6. De olie van de diffusiepomp en de mechanische pomp in de vacuümcoatingapparatuur vormen ook een belangrijke bron van vervuiling. Na langdurig gebruik van de coatingmachine kan zich een oliefilm in de apparatuur vormen.
Samenvattend omvat de vacuümreiniging van apparatuur aspecten en verbanden met de vacuümapparatuur zelf, het vacuümsysteem, de vacuümproductie en andere processen, evenals de eisen die aan de vacuümcoatingapparatuur en het specifieke vacuümproces worden gesteld. Daarom is vacuümvervuiling een probleem dat aandacht verdient, omdat deze vervuiling de prestaties van de apparatuur beïnvloedt. Regelmatige reiniging, of op elk gewenst moment, is dan ook noodzakelijk.
Geplaatst op: 21 februari 2023