Yangperalatan salutan vakumterdiri daripada banyak bahagian yang tepat, yang dibuat melalui pelbagai proses, seperti kimpalan, pengisaran, pemutaran, pengetam, penggerudian, penggilingan dan sebagainya. Disebabkan oleh kerja-kerja ini, permukaan bahagian peralatan pasti akan tercemar dengan beberapa bahan pencemar seperti gris, kotoran minyak, serpihan logam, fluks kimpalan, pes penggilap, kesan peluh dan sebagainya. Bahan pencemar ini mudah meruap di bawah keadaan vakum, sekali gus menjejaskan vakum muktamad peralatan.
Di samping itu, bahan pencemar vakum daripada pemprosesan mekanikal ini menyerap sejumlah besar gas dalam persekitaran tekanan atmosfera, dan dalam keadaan vakum, gas yang sebelum ini diserap ini juga akan dibebaskan semula, menjadi faktor utama yang mengehadkan had vakum. Atas sebab ini, bahan pencemar mesti disingkirkan sebelum bahagian mesin salutan vakum dipasang.
Semasa penggunaan peralatan vakum, komponennya juga akan tercemar. Walau bagaimanapun, pencemaran dari sumber ini terutamanya disebabkan oleh keadaan penggunaan dan pam vakum.
1. Penyejatan filamen tolok vakum di bawah keadaan suhu tinggi akan menyebabkan pembentukan filem pada penebat seramik, yang akan merosakkan kekuatan penebatnya sehingga tahap tertentu, dan juga mempunyai kesan tertentu terhadap ketepatan pengukurannya;
2. Disebabkan oleh penyejatan suhu tinggi, filem logam akan terbentuk pada permukaan berhampiran filamen pistol elektron dalam vakum;
3. Disebabkan oleh percikan bahan kerja, dinding dalaman peralatan etsa pancaran ion akan tercemar oleh percikan;
4. Dinding dalam peralatan salutan penyejatan vakum akan tercemar oleh bahan sasaran penyejatannya;
5. Sistem pengeringan vakum sering digunakan, dan sistem akan tercemar oleh bahan-bahan yang tersejat;
6. Minyak pam resapan dan minyak pam mekanikal dalam peralatan salutan vakum juga merupakan sumber pencemaran utama. Selepas mesin salutan berfungsi untuk masa yang lama, filem minyak mungkin terbentuk di dalam peralatan.
Secara ringkasnya, sanitasi vakum peralatan melibatkan peralatan vakum, sistem vakum, pengeluaran proses vakum dan aspek serta kaitan lain, serta keperluan peralatan salutan vakum itu sendiri dan proses vakum khas pada keadaan penggunaan. Oleh itu, pencemaran vakum merupakan masalah yang perlu diberi perhatian, kerana pencemaran ini akan menjejaskan prestasi peralatan, dan perhatian harus diberikan kepada pembersihan berkala atau pada bila-bila masa.
Masa siaran: 21 Feb-2023