Jakie są źródła zanieczyszczeń w sprzęcie do powlekania próżniowego?

Tensprzęt do powlekania próżniowegoSkłada się z wielu precyzyjnych części, które powstają w wyniku wielu procesów, takich jak spawanie, szlifowanie, toczenie, struganie, rozwiercanie, frezowanie itd. Z powodu tych prac powierzchnia części urządzenia będzie nieuchronnie zanieczyszczona zanieczyszczeniami, takimi jak smar, brud olejowy, wióry metalowe, topnik spawalniczy, pasta polerska, ślady potu itd. Zanieczyszczenia te łatwo ulatniają się w warunkach próżni, wpływając tym samym na ostateczną próżnię urządzenia.

Ponadto, zanieczyszczenia próżniowe pochodzące z obróbki mechanicznej pochłaniają dużą ilość gazu w środowisku o ciśnieniu atmosferycznym, a w stanie próżni te wcześniej zaadsorbowane gazy zostaną ponownie uwolnione, stając się głównym czynnikiem ograniczającym próżnię graniczną. Z tego powodu zanieczyszczenia muszą zostać usunięte przed montażem części maszyny do powlekania próżniowego.

Podczas użytkowania sprzętu próżniowego jego podzespoły również ulegają zanieczyszczeniu. Jednak zanieczyszczenie z tego źródła jest spowodowane głównie warunkami użytkowania i pompą próżniową.

1. Parowanie żarnika próżniomierza w warunkach wysokiej temperatury prowadzi do utworzenia się warstwy na izolatorze ceramicznym, co w pewnym stopniu osłabia wytrzymałość izolacji, a także ma pewien wpływ na dokładność pomiaru;

2. W wyniku parowania w wysokiej temperaturze na powierzchni, w pobliżu włókna działa elektronowego w próżni, utworzy się warstwa metalu;

3. Z powodu rozpylania przedmiotu obrabianego wewnętrzna ściana urządzenia do trawienia wiązką jonów będzie zanieczyszczona odpryskami;

4. Wewnętrzna ściana urządzenia do powlekania metodą parowania próżniowego będzie zanieczyszczona materiałem docelowym parowania;

5. Często stosuje się system suszenia próżniowego, ale system może ulec zanieczyszczeniu przez odparowywane substancje;

6. Olej pompy dyfuzyjnej i olej pompy mechanicznej w urządzeniach do powlekania próżniowego są również głównym źródłem zanieczyszczeń. Po długim okresie pracy maszyny do powlekania wewnątrz urządzenia może utworzyć się film olejowy.

Podsumowując, sanitacja próżniowa urządzeń obejmuje urządzenia próżniowe, system próżniowy, proces produkcji próżniowej oraz inne aspekty i połączenia, a także wymagania samego urządzenia do powlekania próżniowego i specjalnego procesu próżniowego w warunkach użytkowania. Dlatego zanieczyszczenie próżniowe jest problemem godnym uwagi, ponieważ wpływa ono na wydajność urządzenia, dlatego należy regularnie lub w dowolnym momencie czyścić je.