Ovakum kaplama ekipmanıEkipman, kaynak, taşlama, tornalama, planyalama, delme, frezeleme gibi birçok işlemden geçirilerek üretilen birçok hassas parçadan oluşmaktadır. Bu işlemler nedeniyle, ekipman parçalarının yüzeyi kaçınılmaz olarak gres, yağ kiri, metal talaşları, kaynak tozu, parlatma macunu, ter izleri gibi bazı kirleticilerle kirlenir. Bu kirleticiler vakum koşullarında kolayca buharlaşarak ekipmanın nihai vakumunu etkiler.
Ayrıca, mekanik işlemden kaynaklanan bu vakum kirleticileri, atmosferik basınç ortamında büyük miktarda gaz emer ve vakum durumunda, daha önce emilen bu gazlar tekrar salınarak vakum sınırını belirleyen önemli bir faktör haline gelir. Bu nedenle, vakum kaplama makinesinin parçaları monte edilmeden önce kirleticilerin uzaklaştırılması gerekir.
Vakum ekipmanının kullanımı sırasında, bileşenleri de kirlenecektir. Ancak bu kaynaktan kaynaklanan kirliliğin temel nedeni kullanım koşulları ve vakum pompasıdır.
1. Yüksek sıcaklık koşullarında vakum ölçerin filamanının buharlaşması, seramik yalıtkan üzerinde bir film oluşmasına yol açacak, bu da yalıtım gücünü bir ölçüde zedeleyecek ve ölçüm doğruluğunu da bir ölçüde etkileyecektir;
2. Yüksek sıcaklıkta buharlaşma nedeniyle, vakum ortamında elektron tabancasının filamanının yakınındaki yüzeyde metal bir film oluşacaktır;
3. İş parçasının püskürtülmesi nedeniyle, iyon ışınlı aşındırma ekipmanının iç duvarı sıçramalarla kirlenecektir;
4. Vakumlu buharlaştırma kaplama ekipmanının iç duvarı, buharlaştırma hedef malzemesiyle kirlenecektir;
5. Genellikle vakumlu kurutma sistemi kullanılır ve bu sistem buharlaşan maddelerle kirlenir;
6. Vakumlu kaplama ekipmanındaki difüzyon pompası yağı ve mekanik pompa yağı da önemli bir kirlilik kaynağıdır. Kaplama makinesi uzun süre çalıştıktan sonra, ekipmanın içinde bir yağ tabakası oluşabilir.
Özetle, ekipmanların vakumla temizlenmesi, vakum ekipmanı, vakum sistemi, vakum prosesi üretimi ve diğer yönleri ve bağlantıları, ayrıca vakum kaplama ekipmanının kendisinin ve özel vakum prosesinin kullanım koşullarına ilişkin gereksinimlerini içerir. Bu nedenle, vakum kirliliği dikkat edilmesi gereken bir sorundur, çünkü bu kirlilik ekipmanın performansını etkileyecektir ve düzenli veya her an temizliğe dikkat edilmelidir.
Yayın tarihi: 21 Şubat 2023