DerVakuumbeschichtungsanlageDie Anlage besteht aus vielen Präzisionsteilen, die in zahlreichen Bearbeitungsschritten wie Schweißen, Schleifen, Drehen, Hobeln, Bohren und Fräsen hergestellt werden. Dadurch gelangen unweigerlich Verunreinigungen wie Fett, Öl, Metallspäne, Schweißpulver, Polierpaste und Schweißspuren auf die Oberflächen der Anlagenteile. Diese Verunreinigungen verflüchtigen sich unter Vakuumbedingungen leicht und beeinträchtigen somit das Endvakuum der Anlage.
Darüber hinaus absorbieren diese Vakuumverunreinigungen aus der mechanischen Bearbeitung große Mengen an Gasen im atmosphärischen Druck. Im Vakuumzustand werden diese zuvor adsorbierten Gase wieder freigesetzt, was maßgeblich zur Begrenzung des maximalen Vakuums beiträgt. Aus diesem Grund müssen die Verunreinigungen vor der Montage der Teile der Vakuumbeschichtungsanlage entfernt werden.
Bei der Verwendung von Vakuumgeräten werden auch deren Komponenten verunreinigt. Die Verschmutzung aus dieser Quelle wird jedoch hauptsächlich durch die Einsatzbedingungen und die Vakuumpumpe selbst verursacht.
1. Die Verdampfung des Glühfadens des Vakuummeters unter hohen Temperaturbedingungen führt zur Bildung eines Films auf dem Keramikisolator, was dessen Isolationsfestigkeit in gewissem Maße beeinträchtigt und auch einen gewissen Einfluss auf die Messgenauigkeit hat;
2. Aufgrund der Verdampfung bei hohen Temperaturen bildet sich im Vakuum in der Nähe des Glühfadens der Elektronenkanone ein Metallfilm auf der Oberfläche.
3. Aufgrund des Werkstückzerstäubungsprozesses wird die Innenwand der Ionenstrahlätzanlage durch Spritzer verunreinigt;
4. Die Innenwand der Vakuumverdampfungsanlage wird durch das Verdampfungszielmaterial verunreinigt;
5. Häufig wird ein Vakuumtrocknungssystem verwendet, das durch die verdampften Substanzen verunreinigt wird.
6. Auch das Öl der Diffusionspumpen und der mechanischen Pumpen in der Vakuumbeschichtungsanlage stellt eine bedeutende Verschmutzungsquelle dar. Nach längerem Betrieb der Beschichtungsanlage kann sich im Inneren ein Ölfilm bilden.
Zusammenfassend umfasst die Vakuumreinigung von Anlagen die Vakuumausrüstung, das Vakuumsystem, die Vakuumprozessproduktion und weitere Aspekte und Zusammenhänge sowie die Anforderungen der Vakuumbeschichtungsanlage selbst und die spezifischen Einsatzbedingungen des Vakuumprozesses. Daher ist die Verschmutzung im Vakuum ein Problem, das Beachtung verdient, da sie die Leistung der Anlagen beeinträchtigt. Eine regelmäßige oder jederzeitige Reinigung ist daher unerlässlich.
Veröffentlichungsdatum: 21. Februar 2023