Thetyhjiöpinnoituslaitteetkoostuu monista tarkoista osista, jotka valmistetaan monilla prosesseilla, kuten hitsauksella, hiomalla, sorvauksella, höyläyksellä, porauksella, jyrsimällä ja niin edelleen.Näiden töiden vuoksi laitteiden osien pinta saastuu väistämättä joidenkin epäpuhtauksien, kuten rasvan, öljylian, metallilastujen, hitsausmassan, kiillotuspastan, hikijälkien ja niin edelleen kanssa.Nämä epäpuhtaudet ovat helposti haihtuvia tyhjiöolosuhteissa, mikä vaikuttaa laitteen lopulliseen tyhjiöön.
Lisäksi nämä mekaanisen käsittelyn alipainesaasteet imevät suuren määrän kaasua ilmakehän paineympäristössä, ja tyhjiötilassa myös näitä aikaisemmin adsorboituneita kaasuja vapautuu uudelleen, jolloin niistä tulee tärkeä rajatyhjiötä rajoittava tekijä.Tästä syystä epäpuhtaudet on poistettava ennen tyhjiöpäällystyskoneen osien kokoamista.
Tyhjiölaitteiden käytön aikana myös sen osat saastuvat.Tästä lähteestä peräisin oleva saastuminen johtuu kuitenkin pääasiassa käyttöolosuhteista ja tyhjiöpumpusta.
1. Tyhjiömittarin filamentin haihtuminen korkeissa lämpötiloissa johtaa kalvon muodostumiseen keraamiseen eristimeen, mikä vahingoittaa sen eristyslujuutta jossain määrin ja vaikuttaa myös sen tarkkuuteen. mittaus;
2. Korkeassa lämpötilassa tapahtuvan haihtumisen vuoksi metallikalvo muodostuu pinnalle elektronipistoolin filamentin lähelle tyhjiössä;
3. Työkappaleen sputteroinnista johtuen roiskeet saastuttavat ionisuihkuetsauslaitteiston sisäseinää;
4. Tyhjiöhaihdutuspäällystyslaitteiston sisäseinä on saastunut haihduttamisen kohdemateriaalista;
5. Tyhjiökuivausjärjestelmää käytetään usein, ja haihtuneet aineet saastuttavat järjestelmän;
6. Tyhjiöpinnoituslaitteiston diffuusiopumppuöljy ja mekaaninen pumppuöljy ovat myös suuri saastelähde.Päällystyskoneen pitkän työskentelyn jälkeen laitteen sisään voi muodostua öljykalvo.
Yhteenvetona voidaan todeta, että laitteiden tyhjiöpuhdistukseen kuuluvat tyhjiölaitteet, tyhjiöjärjestelmä, tyhjiöprosessituotanto ja muut näkökohdat ja linkit sekä itse tyhjiöpäällystyslaitteiston ja erityisen tyhjiöprosessin vaatimukset käyttöolosuhteista.Siksi tyhjiösaaste on huomion arvoinen ongelma, koska nämä saasteet vaikuttavat laitteiden suorituskykyyn ja säännölliseen tai milloin tahansa puhdistukseen tulee kiinnittää huomiota.
Postitusaika: 21.2.2023