Онвакуумное напылениеОборудование состоит из множества прецизионных деталей, изготовленных с помощью различных технологических процессов, таких как сварка, шлифовка, токарная обработка, строгание, расточка, фрезерование и т.д. В результате этих работ поверхность деталей оборудования неизбежно загрязняется различными веществами, такими как смазка, масло, металлические стружки, сварочный флюс, полировальная паста, следы пота и т.д. Эти загрязняющие вещества легко испаряются в условиях вакуума, влияя на конечный вакуум оборудования.
Кроме того, эти вакуумные загрязнители, образующиеся в результате механической обработки, поглощают большое количество газа из атмосферного давления, и в вакуумном состоянии эти ранее адсорбированные газы также будут высвобождаться, становясь основным фактором, ограничивающим предельный вакуум. По этой причине загрязнители необходимо удалять до сборки деталей вакуумной напылительной машины.
В процессе эксплуатации вакуумного оборудования его компоненты также загрязняются. Однако загрязнение из этого источника в основном вызвано условиями эксплуатации и вакуумным насосом.
1. Испарение нити вакуумметра в условиях высоких температур приводит к образованию пленки на керамическом изоляторе, что в определенной степени снижает его изоляционные свойства, а также оказывает определенное влияние на точность измерений;
2. Вследствие высокотемпературного испарения на поверхности вблизи нити накала электронной пушки в вакууме образуется металлическая пленка;
3. Из-за распыления заготовки внутренняя стенка оборудования для ионно-лучевого травления будет загрязнена брызгами;
4. Внутренняя стенка оборудования для вакуумного напыления будет загрязнена испаряемым целевым материалом;
5. Часто используется система вакуумной сушки, которая загрязняется испаряющимися веществами;
6. Масло диффузионного насоса и масло механического насоса в вакуумном напылительном оборудовании также являются основным источником загрязнения. После длительной работы напылительной машины внутри оборудования может образоваться масляная пленка.
В заключение, вакуумная санитарная обработка оборудования включает в себя вакуумное оборудование, вакуумную систему, вакуумный процесс производства и другие аспекты и связи, а также требования к самому вакуумному покрасочному оборудованию и специальным вакуумным процессам в условиях эксплуатации. Поэтому вакуумное загрязнение является проблемой, заслуживающей внимания, поскольку оно влияет на производительность оборудования, и следует уделять внимание регулярной или постоянной очистке.
Дата публикации: 21 февраля 2023 г.