Các nguồn gây ô nhiễm của thiết bị phủ chân không là gì?

Cáithiết bị phủ chân khôngThiết bị được cấu tạo từ nhiều chi tiết chính xác, được chế tạo thông qua nhiều quy trình như hàn, mài, tiện, bào, khoan, phay, v.v. Do các công đoạn này, bề mặt các chi tiết thiết bị chắc chắn sẽ bị nhiễm bẩn bởi một số chất gây ô nhiễm như mỡ, dầu mỡ, vụn kim loại, chất trợ hàn, chất đánh bóng, vết mồ hôi, v.v. Những chất gây ô nhiễm này dễ bay hơi trong điều kiện chân không, do đó ảnh hưởng đến độ chân không cuối cùng của thiết bị.

Ngoài ra, các chất gây ô nhiễm chân không từ quá trình gia công cơ khí hấp thụ một lượng lớn khí trong môi trường áp suất khí quyển, và trong trạng thái chân không, các khí đã hấp thụ trước đó cũng sẽ được giải phóng trở lại, trở thành yếu tố chính hạn chế giới hạn chân không. Vì lý do này, các chất gây ô nhiễm phải được loại bỏ trước khi lắp ráp các bộ phận của máy phủ chân không.

Trong quá trình sử dụng thiết bị chân không, các bộ phận của nó cũng sẽ bị nhiễm bẩn. Tuy nhiên, sự nhiễm bẩn từ nguồn này chủ yếu là do điều kiện sử dụng và bơm chân không gây ra.

1. Sự bay hơi của dây tóc của đồng hồ đo chân không trong điều kiện nhiệt độ cao sẽ dẫn đến sự hình thành một lớp màng trên chất cách điện bằng gốm, làm giảm độ bền cách điện của nó ở một mức độ nhất định, và cũng ảnh hưởng nhất định đến độ chính xác của phép đo;

2. Do quá trình bay hơi ở nhiệt độ cao, một lớp màng kim loại sẽ hình thành trên bề mặt gần dây tóc của súng bắn electron trong môi trường chân không;

3. Do hiện tượng bắn phá phôi, thành bên trong của thiết bị khắc bằng chùm ion sẽ bị nhiễm bẩn bởi các mảnh vụn bắn ra;

4. Thành trong của thiết bị phủ màng bằng phương pháp bay hơi chân không sẽ bị nhiễm bẩn bởi vật liệu cần bay hơi;

5. Hệ thống sấy chân không thường được sử dụng, và hệ thống này sẽ bị nhiễm bẩn bởi các chất bay hơi;

6. Dầu bơm khuếch tán và dầu bơm cơ khí trong thiết bị phủ chân không cũng là một nguồn gây ô nhiễm chính. Sau khi máy phủ hoạt động trong thời gian dài, một lớp màng dầu có thể hình thành bên trong thiết bị.

Tóm lại, việc vệ sinh thiết bị bằng phương pháp hút chân không bao gồm thiết bị hút chân không, hệ thống hút chân không, quy trình sản xuất hút chân không và các khía cạnh, khâu khác, cũng như các yêu cầu của chính thiết bị phủ chân không và quy trình hút chân không đặc biệt về điều kiện sử dụng. Do đó, ô nhiễm chân không là một vấn đề đáng quan tâm, bởi vì những ô nhiễm này sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị, và cần chú ý đến việc vệ sinh định kỳ hoặc bất cứ khi nào cần thiết.