その真空コーティング装置装置は多くの精密部品で構成されており、溶接、研削、旋削、プレーナー加工、ボーリング加工、フライス加工など、多くの工程を経て製造されます。これらの作業により、装置部品の表面は、グリース、油汚れ、金属片、溶接フラックス、研磨ペースト、汗の跡など、様々な汚染物質で必然的に汚染されます。これらの汚染物質は真空状態で揮発しやすく、装置の到達真空度に影響を与えます。
さらに、機械加工から発生するこれらの真空汚染物質は、大気圧環境下で大量のガスを吸収し、真空状態ではこれらの吸着ガスも再放出されるため、限界真空度を制限する大きな要因となります。そのため、真空コーティング装置の部品を組み立てる前に、これらの汚染物質を除去する必要があります。
真空装置の使用中、その構成部品も汚染されます。しかし、この汚染源は主に使用条件と真空ポンプによって引き起こされます。
1. 高温条件下で真空計のフィラメントが蒸発すると、セラミック絶縁体上に膜が形成され、絶縁強度がある程度損なわれ、測定精度にも一定の影響を及ぼします。
2. 高温蒸発により、真空中の電子銃のフィラメント近くの表面に金属膜が形成されます。
3. ワークピースのスパッタリングにより、イオンビームエッチング装置の内壁が飛沫によって汚染されます。
4.真空蒸着装置の内壁が蒸着対象物質によって汚染される。
5. 真空乾燥システムがよく使用されますが、蒸発した物質によってシステムが汚染されます。
6. 真空コーティング装置内の拡散ポンプ油と機械ポンプ油も、大きな汚染源となります。コーティング装置を長期間稼働させると、装置内部に油膜が形成されることがあります。
まとめると、機器の真空衛生管理には、真空装置、真空システム、真空プロセス製造といった側面や関連性に加え、真空コーティング装置自体の要件や特殊な真空プロセスの使用条件も関係します。したがって、真空汚染は機器の性能に影響を与えるため、注意を要する問題であり、定期的または随時の清掃に注意を払う必要があります。
投稿日時: 2023年2月21日