מאפיינים ושיטות יצירה של זרימת אלקטרונים בקשת

1. מאפייני זרימת אלקטרונים בקשת אור

צפיפות זרימת האלקטרונים, זרימת היונים ואטומים ניטרליים בעלי אנרגיה גבוהה בפלזמת קשת הנוצרת על ידי פריקת קשת גבוהה בהרבה מזו של פריקת זוהר. ישנם יותר יוני גז ויוני מתכת מיוננים, אטומים בעלי אנרגיה גבוהה מעוררים וקבוצות פעילות שונות בחלל הציפוי, אשר ממלאים תפקיד חשוב בשלבי החימום, הניקוי והציפוי של תהליך הציפוי. צורת הפעולה של זרימת אלקטרונים בקשת שונה מזו של אלומת יונים, לא כולם מתכנסים ל"קרן", אלא לרוב במצב מתפצל, ולכן היא נקראת זרימת אלקטרונים בקשת. מכיוון שאלקטרוני קשת זורמים לכיוון האנודה, זרימת אלקטרונים הקשת מופנית לכל מקום שאליו מחוברת האלקטרודה החיובית של ספק הכוח של הקשת, והאנודה יכולה להיות חומר עבודה, אנודת עזר, כור היתוך וכו'.

2. שיטה ליצירת זרימת אלקטרונים בקשת

(1) מקור הגז מייצר זרימת אלקטרונים בקשת: זרם הקשת של פריקת קשת קתודה חלולה ופריקת קשת חוט חם יכול להגיע לכ-200A, ומתח הקשת הוא 50-70V.

(2) מקור מוצק מייצר זרימת אלקטרונים בקשת: מקור קשת קתודה, כולל מקור קשת קטן, מקור קשת גלילי, מקור קשת גדול מישור מלבני וכו'. זרם הקשת של כל פריקה של מקור קשת קתודה הוא 80-200A, ומתח הקשת הוא 18-25V.

זרימת אלקטרונים בקשת בעלת צפיפות גבוהה ואנרגיה נמוכה בשני סוגים של פלזמות פריקת קשת יכולה לייצר יינון התנגשות אינטנסיבי עם אטומי שכבת גז ומתכת, ולקבל יותר יוני גז, יוני מתכת ואטומים וקבוצות פעילים שונים בעלי אנרגיה גבוהה, ובכך לשפר את הפעילות הכוללת של יוני שכבת הסרט.

–מאמר זה פורסם על ידי גואנגדונג ז'נהואה,יצרן מכונות ציפוי ואקום