Einkenni magnetron sputterhúðunar
(3) Lágorkuspútrun. Vegna lágrar katóðuspennu sem beitt er á skotmarkið er plasmað bundið af segulsviðinu í rýminu nálægt katóðunni, sem hindrar háorku hlaðnar agnir við hlið undirlagsins sem fólk skýtur á. Þess vegna er skemmdir á undirlaginu eins og hálfleiðurum af völdum hlaðinna agna minni en þær sem valda með öðrum spútrunaraðferðum.
(4) Lágt hitastig undirlagsins. Spúttunarhraði segulspúttunar er mikill vegna þess að rafeindaþéttni katóðumarkmiðsins er innan svæðisins, þ.e. útblástursbrautar marksins innan lítils staðbundins svæðis. Á meðan seguláhrifin utan svæðisins, sérstaklega fjarri segulsviði undirlagsins í nágrenninu, er rafeindaþéttni vegna dreifingar mun lægri og getur jafnvel verið lægri en tvípólspúttrunin (vegna nokkurrar stærðarmunar á þrýstingi vinnugasanna tveggja). Þess vegna er styrkur rafeinda sem sprengja yfirborð undirlagsins við segulspúttrun mun lægri en við hefðbundna díóðuspúttrun og kemur í veg fyrir óhóflega hækkun á hitastigi undirlagsins vegna fækkunar rafeinda sem falla á undirlagið. Að auki, í segulspúttunaraðferðinni, getur anóða segulspúttunartækisins verið staðsett nálægt katóðu og undirlagshaldarinn getur einnig verið ójarðtengdur og í sviflausnarmöguleika, þannig að rafeindir geti ekki farið í gegnum jarðtengda undirlagshaldarann og flætt í gegnum anóðuna, sem dregur úr orkuríkum rafeindum sem skjóta á húðaða undirlagið, dregur úr aukningu á undirlagshita af völdum rafeindanna og dregur verulega úr auka rafeindaárás á undirlagið sem leiðir til hitamyndunar.
(5) Ójöfn etsun á skotmarkinu. Í hefðbundnu segulspúttunarmarkmiði er ójafnt segulsvið notað, sem veldur staðbundinni samleitni í plasmanu. Þetta veldur mikilli staðbundinni etshraði skotmarksins við spúttunarprófunina og veldur verulegri ójöfnu etsun. Nýtingarhlutfall skotmarksins er almennt um 30%. Til að bæta nýtingarhlutfall skotmarksefnisins er hægt að grípa til margvíslegra úrbóta, svo sem að bæta lögun og dreifingu segulsviðsins, sem gerir segulinn kleift að hreyfa sig inn á við í katóðu skotmarksins og svo framvegis.
Erfiðleikar við að spútra segulmagnað efni. Ef spúttarmarkið er úr efni með mikla segulgegndræpi, munu segullínurnar fara beint í gegnum innra rými marksins og valda segulmagnaðri skammhlaupi, sem gerir segulmagnaða útskrift erfiða. Til að mynda geimsegulsvið hafa menn framkvæmt ýmsar rannsóknir, til dæmis til að metta segulsviðið inni í markefninu og skilja eftir mörg eyður í markinu til að stuðla að meiri leka vegna aukinnar hitastigs segulmagnaðs markefnis eða til að draga úr segulgegndræpi markefnisins.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 1. des. 2023