1.Karakteristik aliran elektron cahaya busur
Kepadatan aliran elektron, aliran ion, dan atom netral berenergi tinggi dalam plasma busur yang dihasilkan oleh pelepasan busur jauh lebih tinggi daripada pelepasan pijar. Ada lebih banyak ion gas dan ion logam yang terionisasi, atom berenergi tinggi yang tereksitasi, dan berbagai gugus aktif di ruang pelapisan, yang memainkan peran penting dalam tahap pemanasan, pembersihan, dan pelapisan dari proses pelapisan. Bentuk aksi aliran elektron busur berbeda dari berkas ion, tidak semuanya menyatu menjadi "berkas", tetapi sebagian besar dalam keadaan divergen, sehingga disebut aliran elektron busur. Karena elektron busur mengalir menuju anoda, aliran elektron busur diarahkan ke mana pun elektroda positif dari catu daya busur terhubung, dan anoda dapat berupa benda kerja, anoda tambahan, wadah peleburan, dll.
2.Metode pembangkitan aliran elektron busur
(1) Sumber gas menghasilkan aliran elektron busur: arus busur pelepasan busur katoda berongga dan pelepasan busur kawat panas dapat mencapai sekitar 200A, dan tegangan busur adalah 50-70V.
(2) Sumber padat menghasilkan aliran elektron busur: sumber busur katoda, termasuk sumber busur kecil, sumber busur silinder, sumber busur besar bidang persegi panjang, dll. Arus busur setiap pelepasan sumber busur katoda adalah 80-200A, dan tegangan busur adalah 18-25V.
Aliran elektron busur berdensitas tinggi dan berenergi rendah dalam dua jenis plasma pelepasan busur dapat menghasilkan ionisasi tumbukan yang intens dengan atom-atom film gas dan logam, memperoleh lebih banyak ion gas, ion logam, dan berbagai atom dan gugus aktif berenergi tinggi, sehingga meningkatkan aktivitas keseluruhan ion lapisan film.
–Artikel ini dirilis oleh Guangdong Zhenhua,produsen mesin pelapis vakum
Waktu posting: 31-Mei-2023

