1. Աղեղային լույսի էլեկտրոնային հոսքի բնութագրերը
Աղեղային պարպման միջոցով առաջացած աղեղային պլազմայում էլեկտրոնային հոսքի, իոնային հոսքի և բարձր էներգիայի չեզոք ատոմների խտությունը շատ ավելի բարձր է, քան լուսային պարպման դեպքում։ Ծածկույթի տարածքում կան ավելի շատ գազային և մետաղական իոններ, իոնացված, գրգռված բարձր էներգիայի ատոմներ և տարբեր ակտիվ խմբեր, որոնք կարևոր դեր են խաղում ծածկույթի գործընթացի տաքացման, մաքրման և ծածկույթի փուլերում։ Աղեղային էլեկտրոնային հոսքի գործողության ձևը տարբերվում է իոնային փնջից, որոնցից ոչ բոլորն են միանում «փնջի», այլ հիմնականում դիվերգենտ վիճակում, ուստի այն կոչվում է աղեղային էլեկտրոնային հոսք։ Քանի որ աղեղային էլեկտրոնները հոսում են դեպի անոդ, աղեղային էլեկտրոնային հոսքը ուղղվում է այնտեղ, որտեղ միացված է աղեղային էլեկտրամատակարարման դրական էլեկտրոդը, և անոդը կարող է լինել աշխատանքային մաս, օժանդակ անոդ, հալոցք և այլն։
2. Աղեղային էլեկտրոնային հոսքի առաջացման մեթոդ
(1) Գազի աղբյուրը առաջացնում է աղեղային էլեկտրոնների հոսք. խոռոչ կաթոդային աղեղային պարպման և տաք մետաղալարային աղեղային պարպման աղեղային հոսանքը կարող է հասնել մոտ 200 Ա-ի, իսկ աղեղային լարումը 50-70 Վ է։
(2) Պինդ աղբյուրը առաջացնում է աղեղային էլեկտրոնային հոսք. կաթոդային աղեղային աղբյուր, ներառյալ փոքր աղեղային աղբյուր, գլանաձև աղեղային աղբյուր, ուղղանկյուն հարթ մեծ աղեղային աղբյուր և այլն: Յուրաքանչյուր կաթոդային աղեղային աղբյուրի լիցքաթափման աղեղային հոսանքը 80-200 Ա է, իսկ աղեղային լարումը՝ 18-25 Վ:
Երկու տեսակի աղեղային պարպման պլազմայում բարձր խտության և ցածր էներգիայի աղեղային էլեկտրոնային հոսքը կարող է առաջացնել գազի և մետաղական թաղանթային ատոմների հետ ինտենսիվ բախման իոնացում, ստանալով ավելի շատ գազային իոններ, մետաղական իոններ և տարբեր բարձր էներգիայի ակտիվ ատոմներ և խմբեր, այդպիսով բարելավելով թաղանթային շերտի իոնների ընդհանուր ակտիվությունը։
– Այս հոդվածը հրապարակվել է Գուանդուն Չժենհուայի կողմից, ավակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրող
Հրապարակման ժամանակը. Մայիսի 31-2023