A magnetron porlasztásos bevonat jellemzői
(3) Alacsony energiájú porlasztás. A céltárgyra alkalmazott alacsony katódfeszültség miatt a plazma a katód közelében lévő mágneses térhez kötődik, így gátolja a nagy energiájú töltésű részecskék terjedését az aljzat oldalára. Ezért az aljzat, például a félvezető eszközök károsodásának mértéke a töltött részecskékkel történő bombázás által kisebb, mint más porlasztási módszereknél.
(4) Alacsony szubsztrát hőmérséklet. A magnetron porlasztási sebessége magas, mivel a katód céltárgyának mágneses mezőjében lévő tartományon belül, azaz a céltárgy kisülési útvonalának egy kis, lokalizált területén belül az elektronkoncentráció magas. Míg a tartományon kívüli mágneses hatás esetén, különösen a szubsztrát felületének mágneses mezőjétől távol, az elektronkoncentráció a diszperzió miatt sokkal alacsonyabb, sőt akár alacsonyabb is lehet, mint a dipólus porlasztásnál (a két munkagáz nyomáskülönbsége nagyságrendnyi különbség miatt). Ezért magnetron porlasztási körülmények között a szubsztrát felületét bombázó elektronok koncentrációja sokkal alacsonyabb, mint a hagyományos dióda porlasztásnál, és a szubsztrátra érkező elektronok számának csökkenése miatt elkerülhető a szubsztrát hőmérsékletének túlzott emelkedése. Ezenkívül a magnetronos porlasztásos eljárásban a magnetronos porlasztó eszköz anódja a katód közelében helyezkedhet el, és az aljzattartó is lehet földeletlen és szuszpenziós potenciálban, így az elektronok nem tudnak áthaladni a földelt aljzattartón és elfolyni az anódon keresztül, ezáltal csökkentve a bevont aljzatot bombázó nagy energiájú elektronok számát, csökkentve az elektronok által okozott aljzathő-növekedést, és nagymértékben csillapítva az aljzat másodlagos elektronbombázását, ami hőtermelést eredményez.
(5) A céltárgy egyenetlen marása. A hagyományos magnetronos porlasztásos céltárgynál az egyenetlen mágneses mező miatt a plazma lokális konvergenciahatást hoz létre, ami nagy mértékű porlasztási maratást eredményez a céltárgy lokális pozíciójában, aminek eredményeként a céltárgy maratása jelentősen egyenetlen lesz. A céltárgy kihasználtsági aránya általában körülbelül 30%. A céltárgy anyagának kihasználtsági arányának javítása érdekében számos javító intézkedést lehet tenni, például javítani a céltárgy mágneses mezőjének alakját és eloszlását, hogy a mágnes a céltárgy katódjában belül mozogjon, és így tovább.
Nehézségek a mágneses anyagcéltárgyak porlasztásában. Ha a porlasztási céltárgy nagy mágneses permeabilitással rendelkező anyagból készül, a mágneses erővonalak közvetlenül áthaladnak a céltárgy belsején, mágneses rövidzárlatot okozva, ami megnehezíti a magnetron kisülését. A térbeli mágneses mező létrehozása érdekében számos tanulmányt végeztek, például a céltárgy belsejében lévő mágneses mező telítését, sok rést hagyva a céltárgyban, hogy elősegítsék a mágneses céltárgy hőmérsékletének növekedésével járó további szivárgást, vagy a céltárgy mágneses permeabilitásának csökkentését.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. dec. 1.