1. Az ívfény elektronáramlásának jellemzői
Az ívkisülés által generált ívplazmában az elektronáramlás, az ionáramlás és a nagy energiájú semleges atomok sűrűsége sokkal nagyobb, mint a parázskisülésnél. A bevonótérben több gázion és fémion ionizált, gerjesztett nagy energiájú atom és különféle aktív csoportok találhatók, amelyek fontos szerepet játszanak a bevonási folyamat melegítési, tisztítási és bevonási szakaszaiban. Az ívelektronáramlás hatásformája eltér az ionnyalábétól, nem mindegyik konvergál „nyalábba”, hanem többnyire divergens állapotban van, ezért ívelektronáramlásnak nevezik. Mivel az ívelektronok az anód felé áramlanak, az ívelektronáramlás oda irányul, ahová az ívtápegység pozitív elektródája csatlakozik, és az anód lehet munkadarab, segédanód, olvasztótégely stb.
2. Ívelektronáramlás létrehozásának módszere
(1) A gázforrás ívelektron-áramlást generál: az üreges katódos ívkisülés és a forró huzalos ívkisülés ívárama elérheti a körülbelül 200 A-t, az ívfeszültség pedig 50-70 V.
(2) Szilárd forrás generál ívelektron áramlást: katód ívforrás, beleértve a kis ívforrást, hengeres ívforrást, téglalap alakú síkú nagy ívforrást stb. Az egyes katód ívforrások kisülésének ívárama 80-200 A, az ívfeszültség pedig 18-25 V.
A kétféle ívkisüléses plazmában a nagy sűrűségű és alacsony energiájú ívelektron-áramlás intenzív ütközési ionizációt generálhat gáz- és fémfilmatomokkal, több gáziont, fémiont és különféle nagy energiájú aktív atomokat és csoportokat nyerve, ezáltal javítva a filmréteg ionjainak általános aktivitását.
–Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua, egy… tette közzévákuumbevonó gép gyártó
Közzététel ideje: 2023. május 31.