A berendezés elektronnyalábos párologtatási technológiát alkalmaz. Az elektronok a katódszálból kilépnek, és egy bizonyos nyalábáramba fókuszálódnak, amelyet a katód és a tégely közötti potenciál felgyorsít, megolvasztva és elpárologtatva a bevonóanyagot. Nagy energiasűrűséggel rendelkezik, és a bevonóanyag olvadáspontja meghaladja a 3000 ℃-ot. A film nagy tisztaságú és magas hőhatásfokkal rendelkezik.
A berendezés elektronnyalábos párologtató forrással, ionforrással, filmvastagság-ellenőrző rendszerrel, filmvastagság-korrekciós szerkezettel és stabil esernyőszerű munkadarab-forgató rendszerrel van felszerelve. Az ionforrás-rásegítéses bevonatolásnak köszönhetően a film tömörsége megnő, a törésmutató stabilizálódik, és elkerülhető a nedvesség okozta hullámhossz-eltolódás jelensége. A teljesen automatikus filmvastagság valós idejű ellenőrző rendszere biztosítja a folyamat megismételhetőségét és stabilitását. Önolvasztó funkcióval is rendelkezik, hogy csökkentse a kezelő szakértelmétől való függőséget.
A berendezés különféle oxidokhoz és fémbevonó anyagokhoz alkalmazható, és többrétegű precíziós optikai fóliákkal, például AR fóliával, hosszúhullámú áteresztő fóliával, rövidhullámú áteresztő fóliával, fehérítő fóliával, AS/AF fóliával, IRCUT fóliával, színes filmrendszerrel, gradiens filmrendszerrel stb. bevonható. Széles körben használják AR szemüvegekben, optikai lencsékben, kamerákban, optikai lencsékben, szűrőkben, félvezető iparban stb.