Karakteristik kouch pulverizasyon mayetron
(3) Pulverizasyon ki ba enèji. Akòz vòltaj katod ki ba a aplike sou sib la, plasma a lye pa chan mayetik la nan espas ki toupre katod la, kidonk li anpeche patikil chaje ki gen anpil enèji yo rive sou bò substrat la kote moun yo tire a. Kidonk, degre domaj ki ka rive sou substrat la tankou aparèy semi-kondiktè ki koze pa bonbadman patikil chaje yo pi ba pase sa ki koze pa lòt metòd pulverizasyon.
(4) Tanperati substrati ki ba. Vitès pulverizasyon mayetron an wo, paske chan mayetik sib katod la nan rejyon an, sa vle di, konsantrasyon elektwon nan pist egzeyat sib la nan yon ti zòn lokalize wo, alòske nan efè mayetik deyò rejyon an, espesyalman lwen chan mayetik sifas substrati a ki toupre, konsantrasyon elektwon an pi ba anpil akòz dispèsyon an, e li ka menm pi ba pase pulverizasyon dipol la (akòz diferans presyon gaz k ap travay ant de lòd mayitid yo). Se poutèt sa, anba kondisyon pulverizasyon mayetron, konsantrasyon elektwon ki bonbade sifas substrati a pi ba anpil pase sa ki nan pulverizasyon dyòd òdinè, epi yon ogmantasyon twòp nan tanperati substrati a evite akòz rediksyon nan kantite elektwon ki ensidan sou substrati a. Anplis de sa, nan metòd pulverizasyon mayetron an, anod aparèy pulverizasyon mayetron an ka sitiye toupre katod la, epi sipò substrat la kapab tou san tè epi an potansyèl sispansyon, pou elektwon yo pa ka pase nan sipò substrat ki gen tè a epi koule ale nan anod la, kidonk sa ki fè elektwon ki gen gwo enèji k ap bonbade substrat plake a diminye, diminye ogmantasyon chalè substrat ki koze pa elektwon yo, epi diminye anpil bonbadman elektwon segondè substrat la ki lakòz jenerasyon chalè a.
(5) Gravure inegal nan sib la. Nan sib tradisyonèl pou pulverizasyon mayetron, lè yo itilize yon chan mayetik inegal, plasma a ap pwodui yon efè konvèjans lokal. Sa ap fè sib la gen yon gwo vitès grave pulverizasyon nan pozisyon lokal la. Kòm rezilta, sib la ap pwodui yon gravure inegal enpòtan. Pousantaj itilizasyon sib la jeneralman anviwon 30%. Pou amelyore to itilizasyon materyèl sib la, ou ka pran plizyè mezi amelyorasyon, tankou amelyore fòm ak distribisyon chan mayetik sib la, pou leman an ka deplase entènman nan katod sib la, elatriye.
Difikilte pou pulverizasyon sib materyèl mayetik. Si sib pulverizasyon an fèt ak yon materyèl ki gen gwo pèmeyabilite mayetik, liy fòs mayetik yo pral pase dirèkteman nan enteryè sib la pou rive yon fenomèn kous sikwi mayetik, sa ki pral fè egzeyat mayetron an difisil. Pou jenere chan mayetik espasyal la, moun yo te fè plizyè etid, pa egzanp, pou satire chan mayetik ki andedan materyèl sib la, kite anpil espas nan sib la pou ankouraje jenerasyon plis flit nan ogmantasyon tanperati sib mayetik la, oubyen pou diminye pèmeyabilite mayetik materyèl sib la.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 1ye desanm 2023