Teknoloji Depozisyon Vapè Chimik (CVD) se yon teknoloji fòmasyon fim ki itilize chofaj, amelyorasyon plasma, foto-asistans ak lòt mwayen pou fè sibstans gazez pwodui fim solid sou sifas substrat la atravè reyaksyon chimik anba presyon nòmal oswa ba.
Anjeneral, reyaksyon kote reyaktif la se yon gaz epi youn nan pwodwi yo se yon solid rele reyaksyon CVD. Gen anpil kalite kouch prepare pa reyaksyon CVD, espesyalman nan pwosesis semi-kondiktè. Pa egzanp, nan domèn semi-kondiktè a, rafinman matyè premyè, preparasyon fim monokristal semi-kondiktè kalite siperyè, ak kwasans fim polikristalin ak amorf, soti nan aparèy elektwonik rive nan sikui entegre, tout gen rapò ak teknoloji CVD. Anplis de sa, tretman sifas materyèl yo favorize pa moun. Pa egzanp, divès materyèl tankou machin, reaktè, ayewospasyal, ekipman medikal ak chimik ka itilize pou prepare kouch fonksyonèl ak rezistans korozyon, rezistans chalè, rezistans mete ak ranfòsman sifas pa metòd fòmasyon fim CVD selon diferan egzijans yo.
—— Atik sa a pibliye pa Guangdong Zhenhua, yon manifaktiekipman pou kouvri ak vakyòm
Lè pòs la: 4 Mas 2023